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[[File:涡轮分子泵1.jpg|缩略图|涡轮分子泵[http://www.yazreid.com/upload/201810/13/201810131046412138.jpg 原图链接][http://www.yazreid.com/upload/201810/13/201810131046412138.jpg 图片来源优酷网]]]
涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。

涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。

'''中文名'''；[[涡轮分子泵]]

'''外文名''':turbomolecular pump

'''所属类别''':[[真空泵]]

'''原    理''':利用动叶轮让气体产生定向流动

'''工   艺''':高真空度制造工艺

==性能特点==

===性能===

泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮（或空气）的压缩比为10<sup>8</sup>～10<sup>9</sup>；对氢为10<sup>2</sup>～10<sup>4</sup>；对分子量大的气体如油蒸气则大于10<sup>10</sup>。

泵的极限压力为10<sup>-9</sup>Pa，工作压力范围为10<sup>-1</sup>～10<sup>-8</sup>Pa，抽气速率为几十到几千升每秒（1L=10<sup>-3</sup>m<sup>3</sup>）。

涡轮分子泵必须在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态）下工作才能显示出它的优越性，因此要求配有工作压力为1～10<sup>-2</sup>Pa的前级真空泵。

分子泵本身由转速为10000～60000转/分的中频电动机直联驱动。
[[File:涡轮分子泵2.jpg|缩略图|涡轮分子泵[http://www.hakuto-china.cn/upload/products_photo/photo_big/1593582403_204.jpg 原图链接][http://www.hakuto-china.cn/upload/products_photo/photo_big/1593582403_204.jpg 图片来源优酷网]]]

===特点===

抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单

工作范围：清洁的低真空~中、高真空，大气~超高真空

极限真空：10<sup>-6</sup>/ 10<sup>-10</sup>torr

缺点：结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高 <ref>[https://baike.baidu.com/reference/3879639/98fbfjpllmHxPELRw_RzbVQEYsueGMvEIHxUCuIq5MVr-VB19731Rr09dNyvgA9SU-ZJKXb9cgI4JWyo5Ho2yS9n86KFGWbn5yA  真空技术网，引用日期2017-12-24] </ref>

==结构组成==

涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、静叶轮和驱动系统等组成。

==工作原理==

主要有立式和卧式两种。

动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度（一般为150～400米/秒）。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。


图3为一个动叶片的工作示意图。在运动叶片两侧的气体分子呈漫散射。在叶轮左侧（图3a），当气体分子到达A点附近时，在角度α1内反射的气体分子回到左侧；在角度β1内反射的气体分子一部分回到左侧，另一部分穿过叶片到达右侧；在角度γ1内反射的气体分子将直接穿过叶片到达右侧。同理，在叶轮右侧（图3b），当气体分子入射到B点附近时，在α2角度内反射的气体分子将返回右侧；在β2角度内反射的气体分子一部分到达左侧，另一部分返回右侧；在γ2角度内反射的气体分子穿过叶片到达左侧。倾斜叶片的运动使气体分子从左侧穿过叶片到达右侧，比从右侧穿过叶片到达左侧的几率大得多。叶轮连续旋转，气体分子便不断地由左侧流向右侧，从而产生抽气作用。



==参考文献==
{{Reflist}}

[[Category:484 機械業；電機資訊業]]