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[[File:中国科学院上海微系统与信息技术研究所.jpeg|320px|缩略图|右|<big>中国科学院上海微系统与信息技术研究所</big>[http://www.cas.cn/jg/jgyqfc/201007/W020100723517735602253.jpg 原图链接][http://www.cas.cn/jg/jgyqfc/201007/t20100723_2909923.shtml 来自 中国科学院 的图片]]]

'''中国科学院上海微系统与信息技术研究所'''（[[英语]]：'''Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences'''），简称上海微系统所，是[[中华人民共和国]]一家主要关注[[半导体]]材料和器件、集成电路、超导等领域的专业研究机构，是[[中国科学院]]直属正局级单位，其前身为1928年正式创立于上海的国立中央研究院工程研究所。中国科学院“率先行动”计划<ref>[http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2014/8/301645.shtm 光明日报：中科院启动“率先行动”计划]，科学网，2014-8-20 </ref>将上海微系统与信息技术研究所定位为卓越创新中心。

[[上海]]微系统与信息技术研究所现有[[中国科学院院士]]2人、[[美国国家科学院院士]]1人，正高级科技人员105人。