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[[File:气相沉积技术.jpg|缩略图|[https://image.baidu.com/search/detail?ct=503316480&z=0&ipn=d&word=%E6%B0%94%E7%9B%B8%E6%B2%89%E7%A7%AF%E6%8A%80%E6%9C%AF&step_word=&hs=0&pn=4&spn=0&di=48180&pi=0&rn=1&tn=baiduimagedetail&is=0%2C0&istype=0&ie=utf-8&oe=utf-8&in=&cl=2&lm=-1&st=undefined&cs=1862722835%2C2742944181&os=335568035%2C3334122032&simid=0%2C0&adpicid=0&lpn=0&ln=1043&fr=&fmq=1621571203526_R&fm=&ic=undefined&s=undefined&hd=undefined&latest=undefined©right=undefined&se=&sme=&tab=0&width=undefined&height=undefined&face=undefined&ist=&jit=&cg=&bdtype=0&oriquery=&objurl=https%3A%2F%2Fgimg2.baidu.com%2Fimage_search%2Fsrc%3Dhttp%3A%2F%2Fwww.wendangwang.com%2Fpic%2F322d7e74184cf99edd299e2a%2F1-445-png_6_0_0_59_699_723_191_841.5_1176-1857-0-250-1857.jpg%26refer%3Dhttp%3A%2F%2Fwww.wendangwang.com%26app%3D2002%26size%3Df9999%2C10000%26q%3Da80%26n%3D0%26g%3D0n%26fmt%3Djpeg%3Fsec%3D1624163224%26t%3D7a098ac5c078aa97ac7ff89aad59780e&fromurl=ippr_z2C%24qAzdH3FAzdH3Fooo_z%26e3Bojg1wg2owg2_z%26e3Bv54AzdH3F15vAzdH3Fndd10j098b9vullj11dlljdw&gsm=4&rpstart=0&rpnum=0&islist=&querylist=&force=undefined 原图链接][https://www.wendangwang.com/doc/322d7e74184cf99edd299e2a 来自文档网]]] '''气相沉积技术'''是利用气相中发生的物理、化学过程,改变工件表面成分,在表面形成具有特殊性能(例如超硬耐磨层或具有特殊的光学、电学性能)的金属或化合物涂层的新技术。气相沉积通常是在工件表面覆盖厚度约0.5~10μm的一层过渡族元素(钛、钒、[[铬]]、锆、[[钼]]、钽、铌及铪)与碳、氮、氧和硼的化合物。按照过程的本质可将气相沉积分为化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积( PVD)两大类。气相沉积是模具表面强化的新技术之一,已广泛应用于各类模具的表面硬化处理,主要应用的沉积层为TiC,TiN。
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