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[[File:涡轮分子泵1.jpg|缩略图|涡轮分子泵[http://www.yazreid.com/upload/201810/13/201810131046412138.jpg 原图链接][http://www.yazreid.com/upload/201810/13/201810131046412138.jpg 图片来源优酷网]]] 涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。 涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。 '''中文名''';[[涡轮分子泵]] '''外文名''':turbomolecular pump '''所属类别''':[[真空泵]] '''原 理''':利用动叶轮让气体产生定向流动 '''工 艺''':高真空度制造工艺
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