檢視真空系统的原始碼

[[File:真空系统1.png|缩略图|真空系统[http://scnanguang.com/uploads/180223/1-1P223102243618.png 原图链接][http://scnanguang.com/uploads/180223/1-1P223102243618.png 图片来源优酷网]]]
真空系统。是由真空泵、PLC程序控制系统、[[储气罐]]、[[真空管道]]、[[真空阀门]]、境外过滤总成等组成的成套真空系统。该系统广泛应用于[[电子半导体业]]、光电背光模组、[[机械加工]]等行业<ref>[ 范茜，金伟，金钦汉.  ESI离子阱质谱仪真空系统设计． 《 CNKI;WanFang 》 ， 2009]</ref> 。

'''中文名''':[[真空系统]]

'''外文名''':vacuum system