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{{Infobox person | 姓名 = 刘晓为 | 外文名 = | 图像 = [[File:刘晓为.jpg|缩略图 |center|[https://baike.so.com/gallery/list?ghid=first&pic_idx=1&eid=6560415&sid=6774169 原图链接] [https://baike.so.com/gallery/list?ghid=first&pic_idx=1&eid=6560415&sid=6774169 图片来源 360搜索]]] | 图像说明 = 哈尔滨工业大学博士生导师 | 出生日期 = | 出生地点 = | 逝世日期 = | 国籍 = 中国 | 母校 = | 职业 = | 知名作品 = }} '''刘晓为''',目前任教于[[哈尔滨]]工业大学航天学院[[博士生导师]]。 <ref>[http://yz.kaoyan365.cn/school/hit/daoshi/24676.html 哈尔滨工业大学生药学专业研究生导师介绍:刘晓为 ]中公考研网</ref> 总装微纳米技术专家组成员; <ref>[http://yz.kaoyan365.cn/school/hit/daoshi/24676.html 哈尔滨工业大学生药学专业研究生导师介绍:刘晓为 ]中公考研网</ref> 总装军用电子元器件型谱系列专家组成员; <ref>[http://yz.kaoyan365.cn/school/hit/daoshi/24676.html 哈尔滨工业大学生药学专业研究生导师介绍:刘晓为 ]中公考研网</ref> 电子学会 敏感技术分会 力敏专业委员会 副主任; 东北微机电系统(MEMS)技术联合体 副秘书长;《传感器技术》 编委;[[黑龙江省]]政协委员。 代表作品,电容式加速度传感器的计算机模拟, 压电与声光。 ==人物经历== 1978-1982年:毕业于哈尔滨工业大学半导体器件专业获学士学位 1984-1988年:毕业于哈尔滨工业大学半导体器件与微电子学专业获硕士学位 1988-1992年:哈尔滨工业大学航天学院讲师 1992-1999年:哈尔滨工业大学航天学院副教授 1999-2003年:哈尔滨工业大学航天学院教授 2003- 2014年:哈尔滨工业大学航天学院博士生导师 ==研究方向== 从事MEMS、传感器与执行器及集成电路领域研究,包括: 1.MEMS CAD技术:MEMS微结构模拟仿真与优化设计,包括力、流体、温度和电磁场等分析; 2.传感器ASIC接口电路集成技术:通过集成电路芯片设计及加工实现传感器与电路的集成化,包括模拟电路和数模混合电路芯片设计; 3.MEMS多功能传感器技术:包括压力-温度、声-振动和自检测压力等传感器; 4.MEMS微驱动和微执行器技术:包括PZT压电厚膜驱动和微阀、微泵等; 5.MEMS SOC技术研究:包括微流体测控系统和微生化分析系统等; 6.生物芯片技术。 ==论著成果== [1]刘晓为等, 硼掺杂多晶硅薄膜电阻率的温度特性, 半导体学报, 1994,15(6):429-434 [2]Liu Xiao-wei, et al, A New Water Permeability Sensor for Test of Thin Films, J.of Micromech..& Microeng., 1995, 5: 147-149 [3]刘晓为等, 电容式加速度传感器的计算机模拟, 压电与声光, 2001.10:170~172 [4]Liu Xiao-wei, et al. Computer Simulation of Polysilicon Pressure Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT'98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10. [5]Liu Xiao-wei, et al. High Temperature Pressure and Temperature Multifunction Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT'98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10. [6]Liu Xiao-wei, et al. Investigation of KOH Etching for Improving Surface quality: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT'98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10. [7]Liu Xiao-wei, et al. Simulation of Piezoelectric Driven Diaphragms of Micropumps: FOURTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTRONIC MEASUREMENT & INSTRUMENTS. ICEMI'99. Harbin.1999.EMI & HIT.1999.08. [8]Liu Xiao-wei, et al, Investigation of Piezoresistive Effect of Polysilicon Films in High Temperature: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07. [9]Liu Xiao-wei, et al, Polysilicon SOI Pressure Sensor with Self-Testing Function: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07. [10]Liu Xiao-wei, et al, Simulation of bulk micromachined vibration sensor with low noise: International Symposium on Micro technology. SPIE. Spain.2003.05. ==参考来源== [[Category:教授]]
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