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[[File:山东大学微电子材料与器件研究所.jpeg|有框|右|<big></big>[https://www.logoids.com/upload/image/201711/15107981476561384.jpg 原图链接][https://www.logoids.com/icon/247IBEFBI8.html 来自 标志网 的图片]]] '''山东大学微电子材料与器件研究所'''是在原物理学院光电材料与器件研究所基础上建立的。1989年在原[[物理系]]半导体研究室的基础上成立了光电材料与器件研究所,光电材料与器件研究所建所以来,连续承担了“八五”、“九五”国家重点科技攻关项目、国家军工配套项目,[[国家自然科学基金]]<ref>[https://www.163.com/dy/article/G0MKVFME0511DCTQ.html 重磅!2021国家自然科学基金项目指南发布],网易,2021-01-19</ref>项目以及[[教育部]]和[[山东省]]各类科研项目;取得科技成果奖励20多项,其中“30×30cmITO透明导电膜”、“氧化物光电薄膜研究”、“电子工业替代ODS清洗剂及清洗技术研究”等为国家和省部级重要科技成果,建立起“国家电子元器件清洗技术研究推广中心”。 山东大学微电子材料与器件研究所经过“985”和“211”学科建设,微电子材料与器件研究所现有一流微细加工实验室,已具备材料生长、纳米器件工艺加工能力,2011年申请获批山东省微电子材料与器件省重点实验室。微电子材料与器件研究所科研主要设备包括:[[电子束曝光系统]]、紫外光刻机、MOCVD系统、PLD系统、[[电子束蒸发]]台、反应离子刻蚀、磁控溅射以及半导体材料与器件光电特性表征等设备。 山东大学微电子材料与器件研究所在强有力的硬件条件支撑下,微电子材料与器件研究所研究已融入微电子前沿主流的研究方向,研究内容包括:纳米电子和太赫兹器件、印刷电子、GaN电子器件和光电子器件、宽禁带半导体材料与器件、有机自旋半导体材料与器件、[[半导体存储器]]、薄膜太阳能电池等,本所的科学研究正朝着微电子主流研究方向大踏步迈进。 ==简介== 研究方向:纳米电子和太赫兹器件、柔性薄膜电子器件、[[宽禁带半导体材料]]与器件、有机自旋半导体材料与器件、半导体存储器。 目前,承担国家自然科学基金项目11项,研究经费: 804万元;参与1项973项目和1项国家重大专项,承担多项省部级和横向课题研究项目;总研究经费超过1000万元。 每年发表SCI<ref>[https://www.sohu.com/a/209195314_100018922 学术期刊索引的SCI、SSCI、EI、ISTP、ISSHP……都是什么意思? ],搜狐,2017-12-07</ref>收录论文30多篇;[[授权]]多项发明专利。 ==硬件条件== (1)高端微细加工实验室 主要设备包括:电子束曝光,ICP干法刻蚀,电子束蒸发,紫外光刻机等。 (2)[[材料]]生长设备 高真空MOCVD设备,[[激光]][[脉冲]]沉积设备,磁控溅射设备,有机真空蒸发设备。 (3)测试表征设备 高频器件特性测试系统(太赫兹测试系统,安捷伦公司),低温霍尔测试系统,[[半导体]]参数分析仪(安捷伦公司),高分辨扫描电镜,宽带隙材料光学测试系统。 ==视频== ===<center> 山东大学微电子材料与器件研究所 相关视频</center>=== <center>山东大学微电子学院+安全卫士小分队+安全意识天天有</center> <center>{{#iDisplay:g0355mjzny7|560|390|qq}}</center> <center>发光材料与器件国家重点实验室</center> <center>{{#iDisplay:l3119hlvg5j|560|390|qq}}</center> ==参考文献== [[Category:520 教育總論]]
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