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[[File:螺杆真空泵1.jpg|缩略图|螺杆真空泵[http://ytskv.com/uploads/allimg/200719/1-200G916120M18.jpg 原图链接][http://ytskv.com/uploads/allimg/200719/1-200G916120M18.jpg 图片来源优酷网]]]
螺杆真空泵是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，它是油封式真空泵的更新换代产品，能抽除含有大量水蒸汽及少量[[粉尘]]的气体场合，在国内制药、[[化工]]、[[半导体]]等对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。

'''中文名''':[[螺杆真空泵]]

'''外文名''':screw vacuum pump

'''类    型''':抽气设备

'''优    点''':寿命长、能耗低、无油污染

'''用    途''':微电子、半导体、制药、精密

==螺杆真空泵的用途==
[[File:螺杆真空泵2.jpg|缩略图|螺杆真空泵[https://img.diytrade.com/smimg/2237225/42227525-2840852-0/%E8%9E%BA%E6%9D%86%E7%9C%9F%E7%A9%BA%E6%B3%B5/44cb.jpg 原图链接][https://img.diytrade.com/smimg/2237225/42227525-2840852-0/%E8%9E%BA%E6%9D%86%E7%9C%9F%E7%A9%BA%E6%B3%B5/44cb.jpg 图片来源优酷网]]]
两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，[[螺杆]]与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。

==螺杆真空泵的优点==

各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.[[螺杆真空泵]]属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点得以广泛应用。

干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本已经成为[[微电子]]、[[半导体]]、[[制药]]、[[精密加工]]等行业首选真空获得设备，日本在[[螺杆压缩机]]<ref>[李珂．螺杆压缩机．北京：北京出版社，2014年]</ref> <ref>[https://baike.baidu.com/reference/5420028/d77abSsb8hV1UgY5Alue75tg2RzKObnIxZZ5t2TX4ccHB8rVeKc49OAwUIf41nizBgv-r5-FpJtJLgBcc2fHxIz6  豆丁，引用日期2017-03-30] </ref> 基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。中国企业在2008年也将螺杆真空泵的生产进入批量化生产，在化工制药等行业得到很好的应用。

==螺杆真空泵的结构==

传动轴连接主动转子，通过同步齿轮带动从动转子旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用[[油润滑]]，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似，一般真空泵的排气端用[[机械式密封件]]，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，通用的是[[直连电机]]，用[[联轴器]]与[[转子]]连接，极少数用皮带或者传动链传动。 等螺距螺杆泵由于无内压缩过程，排气温度非常高，如冷却效果不好，会造成转子和机壳变形，影响抽气效果。冷却机壳是必不可少的一个环节，水冷是最常见的方法，在机壳本体、轴承外侧通冷却水，可以达到冷却壳体进而冷却转子的目的。

==国内外生产概况==

1、国内螺杆真空泵的企业，从2004年起便开始进行型线与结构性能方面的研究。在2007年国内干式螺杆真空泵的市场基本被国外厂家占据的时候，国内公司投入大量资金将该产品转入批量化的生产，并得到国家的大力支持获得各类省级国家级科技奖项和资金。LG干式螺杆真空泵极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/喷射式/水环式真空泵的更新换代产品，在国内各大制药和化工企业得到大量应用。针对不同工艺条件，其过流部件（即转子和[[泵体]]等与[[气体]]接触的部分）均有防腐涂层，包括镍磷涂层和PTFE两种。

2、德国和日本公司在1999年底正式推出的螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用([[非半导体]]应用)设计的干式泵，它是一种全新的设计，是专门用来解决工业应用中艰苦的真空问题，如粉尘、焦油等。此泵也是采用变螺距转子，有内压缩过程，泵腔内无轴承和密封，大大降低了故障率，泵腔内没有内部阀门，因而耐粉尘和焦油能力强，此泵的螺杆采用内部中空冷却，可以降低转子温度和热变形，螺杆寿命长。

==视频==
==Quincy_QSV_昆西变频螺杆真空泵QSV系列==

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==参考文献==
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[[Category:484 機械業；電機資訊業]]