劉曉為

劉曉為，目前任教於哈爾濱工業大學航天學院博士生導師。

劉曉為
原圖鏈接 圖片來源 360搜索 哈爾濱工業大學博士生導師
國籍	中國

總裝微納米技術專家組成員;

總裝軍用電子元器件型譜系列專家組成員;

電子學會 敏感技術分會 力敏專業委員會 副主任;

東北微機電系統(MEMS)技術聯合體 副秘書長;《傳感器技術》 編委;黑龍江省政協委員。

代表作品，電容式加速度傳感器的計算機模擬, 壓電與聲光。

目錄

人物經歷

1978-1982年:畢業於哈爾濱工業大學半導體器件專業獲學士學位

1984-1988年:畢業於哈爾濱工業大學半導體器件與微電子學專業獲碩士學位

1988-1992年:哈爾濱工業大學航天學院講師

1992-1999年:哈爾濱工業大學航天學院副教授

1999-2003年:哈爾濱工業大學航天學院教授

2003- 2014年:哈爾濱工業大學航天學院博士生導師

研究方向

從事MEMS、傳感器與執行器及集成電路領域研究，包括: 1.MEMS CAD技術:MEMS微結構模擬仿真與優化設計，包括力、流體、溫度和電磁場等分析;

2.傳感器ASIC接口電路集成技術:通過集成電路芯片設計及加工實現傳感器與電路的集成化，包括模擬電路和數模混合電路芯片設計;

3.MEMS多功能傳感器技術:包括壓力-溫度、聲-振動和自檢測壓力等傳感器;

4.MEMS微驅動和微執行器技術:包括PZT壓電厚膜驅動和微閥、微泵等;

5.MEMS SOC技術研究:包括微流體測控系統和微生化分析系統等; 6.生物芯片技術。

論著成果

[1]劉曉為等, 硼摻雜多晶硅薄膜電阻率的溫度特性, 半導體學報, 1994,15(6):429-434

[2]Liu Xiao-wei, et al, A New Water Permeability Sensor for Test of Thin Films, J.of Micromech..& Microeng., 1995, 5: 147-149

[3]劉曉為等, 電容式加速度傳感器的計算機模擬, 壓電與聲光, 2001.10:170~172

[4]Liu Xiao-wei, et al. Computer Simulation of Polysilicon Pressure Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT'98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.

[5]Liu Xiao-wei, et al. High Temperature Pressure and Temperature Multifunction Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT'98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.

[6]Liu Xiao-wei, et al. Investigation of KOH Etching for Improving Surface quality: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT'98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.

[7]Liu Xiao-wei, et al. Simulation of Piezoelectric Driven Diaphragms of Micropumps: FOURTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTRONIC MEASUREMENT & INSTRUMENTS. ICEMI'99. Harbin.1999.EMI & HIT.1999.08.

[8]Liu Xiao-wei, et al, Investigation of Piezoresistive Effect of Polysilicon Films in High Temperature: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07.

[9]Liu Xiao-wei, et al, Polysilicon SOI Pressure Sensor with Self-Testing Function: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07.

[10]Liu Xiao-wei, et al, Simulation of bulk micromachined vibration sensor with low noise: International Symposium on Micro technology. SPIE. Spain.2003.05.