劉海軍
劉海軍，1987年生，博士，合肥工業大學機械工程學院講師，碩士生導師。2016年10月畢業於大連理工大學機械工程學院機械製造及其自動化專業，獲得工學博士學位；2016年10月進入合肥工業大學機械工程學院工作。
目錄
人物履歷
教育經歷
2009/09-2016/10，大連理工大學，機械工程學院，博士，導師康仁科教授
2005/09-2009/06，山東大學，機械工程學院，學士
研究方向
精密加工理論與技術，測量方法與技術
開設課程
《互換性與測量技術》《精密、超精密加工與檢測》
近年的科研項目、專著與論文、專利、獲獎
科研項目
國家自然科學青年基金項目(51805135)：基於硅片整體變形的磨削亞表面損傷定量評價方法研究，2019.01 - 2021.12.
中央高校基本科研業務費項目(JZ2017HGBZ0956)，非線性域殘餘應力作用下的硅片變形規律研究，2017.05-2019.04。
獲獎情況
2019年09月，獲得合肥工業大學青年教師教學基本功比賽三等獎
2018年07月，獲得合肥工業大學機械工程學院優秀班主任稱號
學術成果
論文
Haijun Liu, Jiang Han, Xiaoqing Tian, Fangfang Dong, Shan Chen, Lei Lu*. Accurate determination of bifurcation points for ground silicon wafers considering anisotropy using FEM method [J]. Materials Research Express, 2019,6(9): 095906. (SCI 檢索號： 000474934500002）
Haijun Liu, Xianglong Zhu, Renke Kang, Zhigang Dong, Xiuyi Chen. Three-point-support method based on position determination of supports and wafers to eliminate gravity-induced deflection of wafers [J]. Precision Engineering, 2016,46:339-348. (SCI檢索號：000382344600032)
Haijun Liu, Zhigang Dong, Han Huang, Renke Kang, Ping Zhou. A new method for measuring the flatness of large and thin silicon substrates using a liquid immersion technique [J]. Measurement Science and Technology, 2015,26:115008. (SCI檢索號：000366349200009)
Haijun Liu, Zhigang Dong, Renke Kang, Ping Zhou, Shang Gao. Analysis of factors affecting gravity-induced deflection for large and thin wafers in flatness measurement using three-point-support method [J]. Metrology and Measurement Systems, 2015,22(4),531-546. (SCI檢索號：000367003000007)
劉海軍，朱祥龍，康仁科，董志剛. 反轉法消除硅片重力附加變形適用性研究[J]. 人工晶體學報. 2015, 44(12): 3439. (EI檢索號：20161202133309)
Haijun Liu, Renke Kang, Shang Gao, Ping Zhou, Yu Tong, Dongming Guo. Development of a measuring equipment for silicon wafer warp [C]. Advanced Materials Research, 2013,797:561-565. (EI檢索號：20134316904723)
發明專利
康仁科，董志剛，劉海軍，佟宇，郭東明. 一種薄基片變形的測量方法與裝置, 201310187846. 6 [P]. 發明類別：發明專利，授權日期：2016,01,06.
董志剛、康仁科、劉海軍、高尚、朱祥龍、周平、陳修藝. 一種消除重力影響的薄基片變形測量方法, 201510496479.7 [P]. 發明類別：發明專利，公開日期：2015,11,18.[1]