劉鵬

劉鵬 北京大學集成電路學院

劉鵬，男，1981年出生，碩士。北京大學集成電路學院教授。

目錄

人物履歷

科研/教育經歷

2007年起，專業從事微電子加工工藝研究，主要研究方向是基於電子束光刻工藝的納尺度圖形化技術，和基於高密度等離子體干法刻蝕工藝的納尺度圖形轉移技術。

研究領域

微納結構製造技術

研究成果

開發大高寬比納米結構無硬掩膜製造技術，成功獲得AR＞50的6.8nm單晶硅結構，向業界展示了硅基微電子工藝在小尺寸器件研究中的應用能力，為7nm節點下的新器件研究項目提供先導性技術支撐，獲IEEE MEMS 2015最佳論文提名；提出基於MEMS技術的電子散射控制方法和束斑調製技術，並基於這一成果提出高精度電子束束斑檢測方法，獲得國際專利授權；基於光刻膠雙重感光特性，提出適用於電子束光刻工藝的紫外固化技術，將顯影選擇比提高一個量級，成功實現三維納米形貌控制，拓展了電子束光刻工藝的應用範圍，獲得專利授權

科研項目

納米加工基礎工藝研究重點基金項目，基於電子束光刻的納機電系統結構工藝方法研究NSFC重大研究計劃等。同時，負責納米加工平台開放服務，為科研項目優化並加工驗證器件，典型特徵尺寸達到10nm量級。