微系統設計與製造

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《微系統設計與製造》，王喆垚　編著，出版社： 清華大學出版社。

清華大學出版社成立於1980年6月，是教育部主管、清華大學主辦的綜合性大學出版社。清華社現年出版圖書、音像製品、電子出版物等近3000種，銷售規模和綜合實力以及在高等教育教材市場、科技圖書市場、館配圖書市場占有率均名列前茅。

目錄

內容簡介

本書結合微系統(MEMS)技術的基礎理論、典型器件和發展趨勢，介紹微系統的力學、電學和物理學基本理論，針對典型器件的分析設計方法和製造技術，以及多個前沿應用領域，力爭成為具有一定深度和廣度的MEMS領域的教材和實用參考書。主要內容包括： 微系統基本理論、製造技術、微型傳感器、微型執行器、RF MEMS、光學MEMS、BioMEMS，以及微流體和芯片實驗室。本書強調設計與製造相結合、基礎與前沿相結合，在基礎理論和製造技術的基礎上，深入介紹多種典型和量產MEMS器件的設計和製造方法，以及重點和前沿應用研究領域的發展。本書可供高等院校電子、微電子、微機電系統、測控技術與儀器、精密儀器、機械工程、控制工程等專業的高年級本科生、研究生和教師使用，也可供相關領域的工程技術人員參考。

作者介紹

王喆垚，男，1995年和2000年分別獲得清華大學機械工程專業學士學位和機械電子學專業工學博士學位。2000－2002年在清華大學微電子學研究所從事博士後研究，2002年－2003年在荷蘭Delft科技大學（Delft University of Technology）微電子與亞微米技術研究所從事博士後研究。2003年底回國工作。2003年底任副教授，2008年底晉升為教授。授權中國發明專利10項，公開專利6項，獲得北京市科技進步二等獎1項（5/9），清華大學科技成果推廣三等獎1項（5/5）。2005年入選北京市「科技新星計劃」，入選2005年*「新世紀優秀人才支持計劃」。中國儀器儀表學會傳感器分會理事，IEEE高級會員，中國微米納米學會高級會員。2011-2013年 China Semiconductor Technology International Conference 委員會委員，2012年The Sixth Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies技術委員會委員，2011年IEEE Electrical Design of Advanced Packaging & Systems (EDAPS)技術委員會委員，IEEE Sensors Conference 2008-2013技術委員會委員，2005年第6屆East Asian Conference on Chemical Sensors (EACCS-6)組織委員會委員。發表國際期刊論文55篇，編制「儀器製造技術」（章節，機械工業出版社）和「微系統設計與製造」（清華大學出版社）。