牟鹏
教育背景
- 2002.09—2007.07:清华大学,机械 制造及自动化专业,工学博士。
- 1999.09—2002.07:西安交通大学,机械制造及自动化专业,工学硕士。
- 1995.09—1999.07:西安交通大学,机械制造及自动化专业,工学学士。
工作履历
- 2009.07— 今 :清华大学精仪系,助理研究员。
- 2007.07—2009.07:清华大学精仪系,博士后。
学术兼职 国际生产工程科学院(CIRP)青年会员(Research Affiliate)。
研究领域
绿色制造
研究概况
- (1)承担国家自然科学基金面上项目:废弃橡胶机械力化学再生技术的研究(50875142),项目负责人。
- (2)承担国家科技重大专项“超大规模集成电路制造装备及成套工艺”课题:45-22nm超低能注入设备输片系统优化设计与控制算法研究,项目负责人,杨开明老师为项目首席专家。
- (3)参与国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”课题:IC装备工艺模拟与多领域建模工艺仿真设计平台,项目组主要成员。
- (4)参与国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”课题:喷胶、显影、刻蚀等多种工艺喷嘴的开发,项目组主要成员。
- (5)参与国家科技支撑计划项目:机电产品绿色设计技术与应用(2006BAF02A02),项目组主要成员。
- (6)参与国家科技支撑计划项目:典型家电产品再资源化关键技术研究及示范应用(2006BAF02A16),项目组主要成员。
学术成果
最近通过中国机械工业联合会鉴定的科技成果: