輻射熱計
簡介
熱輻射計是熱流計（熱通量計）的一個分類。20世紀90年代初美國Honywell公司在氧化釩薄膜用於非製冷紅外微測熱輻射計研究取得了突破性進展，非製冷紅外微測熱輻射計研究和應用引起人們的極大關注。該器件的原理是紅外輻射引起氧化釩紅外敏感薄膜溫度升高，利用其電阻隨溫度變化，通過微橋支撐結構將信號傳輸到讀出電路,形成單元紅外信息。通過二維陣列信息的組合形成紅外圖像。涉及的核心技術有位於硅基底的讀出集成電路技術，懸浮於基底之上的氮化硅微橋技術和沉積在微橋上的氧化釩紅外敏感薄膜技術三個方面。
評價
因為熱輻射傳感器是熱輻射計的一次敏感元件，因此熱輻射傳感器的發展進程決定的熱輻射計的發展進程。 當飛行器在大氣層中高速飛行時會產生嚴重的氣動光學效應，光學窗口外的激波層產生的高溫激波熱輻射會對目標成像過程造成干擾，嚴重影響系統的辨識能力。為了提升紅外探測器的工作性能，必須對激波流場的熱輻射特性。 [2] 傳統的熱輻射傳感器包括圓箔式（Gardon）、塞式（Schmidt Boelter）、2п式等熱輻射傳感器。 最新型的熱輻射傳感器是薄膜式熱輻射傳感器。 塞式（Schmidt Boelter）和2п式等熱輻射傳感器正在逐漸被由快速響應型薄膜熱輻射傳感器所取代。但是用於高速瞬態快速測量（10～20ms）的圓箔式（Gardon）熱輻射傳感器一直沿用至今。這是因為最新的快速響應型薄膜熱輻射傳感器的響應時間還不能超過20ms。 熱流計的顯示儀表從最初的毫伏計、數字電壓表也已經發展到使用高精度的數據記錄儀和數據採集系統。[1]