酸濃分析儀
簡介
當一束光到達與溶液接觸的稜鏡表面時，將產生一部分反射光和一部分折射光。當入射角增加到一定角度，將發生全反射。折光儀光源所發出的光線將以不同的角度照射到稜鏡表面，這樣將產生明暗兩部分組成的光學圖像。與光學圖像明暗分界線相對應的入射角就是全反射臨界角。如果測定了分界線的位置，也就可以得知溶液的濃度了。 MPR E-Scan折光酸濃分析儀採用CCD圖像探測器來測量分界線的位置，在CCD探測器芯片上使用的CCD 線性陣 列包含2048個獨立的象素點，保證高精度測量。光學檢測器逐點將光學圖像轉化為電信號並以一組脈衝信號表示出來高脈衝與亮區光電池對應，微處理器確定分界線的準確位置，並轉化為某濃度單位下的讀數。
評價
為了獲得高質量、高產率的集成電路芯片，必須除去各種沾污物，這就需要使用非常純淨的化學試劑來清洗硅圓片，硫酸和過氧化氫按比例組成有強氧化性的SPM清洗液，在120～150℃下對硅片進行清洗時，可將金屬氧化後溶於溶液中，並能把有機物氧化成CO2和H2O。它還可用於光刻過程中的濕法蝕刻去膠，藉助於化學反應從硅圓片的表面除去固體物質，導致固體表面全部或局部溶解。[1]