金刚石抛光液

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金刚石抛光液无机非金属材料。

关键词： 金刚石，抛光，硬脆材料，难加工，粗糙度

目录

应用领域

各种难加工硬脆材料的研磨抛光

成果简介

1. 光电子材料加工 现代科学技术所使用的单品硅、功能材料、陶瓷、宝石、光学玻璃及各种硬脆材料等均须抛光。目前占主导地位的是化学机械抛光。抛光液是化学机械抛光技术中的关键要素之一。 我国芯片制造能力达到全球的 30% 左右,但抛光材料（抛光液+抛光垫）国内企业生产的产品市场占有率分别仅占 10%左右。 现芯片抛光液多为SiO2，其pH=8.3～10.7（须现场调节）；强碱性抛光液不利环保；金属离子多，表面损伤层深。 纳米金刚石抛光液加工蓝宝石功效提高1～5倍。可使化学机械抛光过渡到机械抛光，有利环保。 我们研制的狗鱼牌金刚石研磨抛光液独特优势：５nm～180μm 30余种粒度系列抛光液；100nm的多晶抛光液抛光SiC晶体表面粗糙度Ra可以达到0.1～0.3nm（5μm×5μm区域）；静置3个月无沉淀；在－20℃环境下运输或存放不变质；选择了最佳浓度以提高产品的性价比；也可根据用户要求调节pH、粘度、颜色及金刚石的浓度；可制成单晶、多晶或类多晶以及悬浮液或非悬浮液；水性或油性；可对多种难加工的硬脆材料如SiC、Al2O3、Si、SiO2、CaF2、BeF2、Li3AlO3、Li3GaO3、Tb3GaO12、GeO2、Si3N4、ZrO2、BK7型玻璃等进行抛光。 高工效：1μm金刚石抛光液对白宝石的材料去除率＞30μm/h，Ra＜1nm。对SiC的粗抛的去除率为0.5-1.5μm/h，精抛的去除率为0.1-0.5μm/h， 2. 金属及合金光整加工 用纳米金刚石进行光整加工，可使表面粗糙度达到纳米级。金刚石硬度最高可大幅提高功效，有利环保；同时会使表面强化。 大多为油性抛光液——抛光油。 使用狗鱼牌金刚石研磨抛光油加工压缩机零件，研磨3min后，表现粗糙度Ra由0.8↘0.1，抛光研磨时间较国际研磨抛光油节省时间50%以上。 边使用边光整加工：狗鱼牌纳米金刚石发动机油不仅可使发动机的动力性、经济性和排放性明显改善，而且发动机的粗糙度大幅降低和表面硬大幅提高。缸套表面硬度由345 HV0.1提高到377 HV0.1；轴瓦粗糙度由737.489nm降至529.863nm；进气门摇臂粗糙度由487.143nm降至364.391nm。试验表明摩擦副表面已经形成碳化物，这导致硬度增加摩擦系数降低。发动机缸套和活塞环均得到表面改性，使它们的表面强化；而对缸套、活塞环、轴瓦、进气门摇臂和排气门摇臂的光整加工效果远超出人们的预料。 用于晶体加工的水基金刚石研磨抛光液[P].中国， ZL201310071571.X.2015.10.25授权。

经济效益与社会效益

推广应用国产金刚石研磨抛光液不仅使功效提高，而且产品质量更有保障，且价格仅为国外同类产品的几分之一。更重要的是避免了被西方卡脖子，做到未雨绸缪。经济效益和社会效益无法估量。

产品批量投放市场，将使我国晶体加工、金属光整加工生产向前迈进一大步。在研磨抛光液研究方面不再单纯地模仿和停留在理论探讨上。