高純氮

高純氮，氮氣純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在生產中，通常採用黑色鋼瓶盛放氮氣。

高純氮
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目錄

物理性質

high purity nitrogen

分子式: N2

性質:純度大於99.999%。無色無臭無味無毒的惰性氣體。相對密度ds(21.1℃，空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa);液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。

相對分子質量 28.013

熔點 63.15K,-210℃,-346oF

沸點，195.6

臨界溫度 126.1K,-147.05℃,-232.69oF

臨界壓力 3.4MPa,33.94bar,33.5atm,492.26psia

臨界體積 90.1cm3/mol

臨界密度 0.3109g/cm3

臨界壓縮係數 0.292

偏心因子 0.040

液體刻密度 ,-180℃時 0.729g/cm3

液體熱膨脹係數 ,-180℃時 0.00753 1/℃

表面張力 ,-210℃時 12.2×10-3 N/m,12.2dyn/cm

氣體密度 ,101.325 kPa(atm)和70oF(21.1℃)時 1.160kg/m3 ,0.0724 lb/ft3

氣體相對密度,101.325 kPa(1atm)和70oF時(空氣=1) 0.967

汽化熱 , 沸點下 202.76kJ/kg,87.19 BTU/1b

熔化熱 , 熔點下 25.7kJ/kg,11.05 BTU/1b

氣體定壓比熱容 cp ,25 ℃時 1.038kJ/(kg· k),0.248 BTU/(1b·R)

氣體定容比熱容 cp ,25 ℃時 0.741kJ/(kg· k),0.177 BTU/(1b·R)

氣體比熱容比 , cp/cv 1.401

液體比熱容 ,-183℃時 2.13kJ/(kg·k ),0.509 BTU/(1b·R )

因體比熱容 ,-223℃時 1.489kJ/(kg·k ),0.356 BTU/(1b·R )

氣體摩爾熵 ,25℃時 191.5 J/(mol·k )

氣體摩爾生成熵 ,25℃時 0 J/(mol·k )

氣體摩爾生成焓 ,25℃時 0 KJ/mol

氣體摩爾吉布斯生成能 ,25℃時 0 KJ/mol

溶解度參數 9.082 (J/cm3 )0.5

液體摩爾體積 34.677 cm3 /mol

在水中的溶解度 ,25℃時 17.28×10 -6(w)

氣體黏度 ,25℃時 175.44×10 -7 Pa·s,175.44μP

液體黏度 ,-150℃時 0.038mPa ·s,0.038 cp

氣體熱導率 ,25℃ 時 0.02475 W/(m · K)

液體熱導率 ,-150℃時 0.0646W/(m · K)

用途

在集成電路、半導體和電真空器件製造中用作保護氣和運載氣，化學氣相澱積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中，作為置換、乾燥、貯存和輸送用氣體。顯像管製造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中，液氫加注系統必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。

消防應急措施與防護

迅速撤離泄漏污染區人員至上風處，並進行隔離，嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器。不要直接接觸泄漏物。儘可能切斷泄漏源。防止氣體在低凹處積聚，遇點火源着火爆炸。用排風機將漏出氣送至空曠處。漏氣容器要妥善處理，修復、檢驗後再用。用霧狀水保持火場中容器冷卻。可用霧狀水噴淋加速液氮蒸發，但不可使用水槍射至液氮。如吸入高純氮，感到呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫。

安全信息

危險類別：2.2 海關編碼：2804300000 危險品運輸編碼：UN10662.2 WGKGermany：- 安全說明：S38 RTECS號：QW9700000