高纯氮
物理性质
high purity nitrogen
分子式: N2 [1]
性质:纯度大于99.999%。无色无臭无味无毒的惰性气体。相对密度ds(21.1℃,空气=1)0.967。气体密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液体密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。
相对分子质量 28.013
熔点 63.15K,-210℃,-346oF
沸点,195.6
临界温度 126.1K,-147.05℃,-232.69oF
临界压力 3.4MPa,33.94bar,33.5atm,492.26psia
临界体积 90.1cm3/mol
临界密度 0.3109g/cm3
临界压缩系数 0.292
偏心因子 0.040 [2]
液体刻密度 ,-180℃时 0.729g/cm3
液体热膨胀系数 ,-180℃时 0.00753 1/℃
表面张力 ,-210℃时 12.2×10-3 N/m,12.2dyn/cm
气体密度 ,101.325 kPa(atm)和70oF(21.1℃)时 1.160kg/m3 ,0.0724 lb/ft3
气体相对密度,101.325 kPa(1atm)和70oF时(空气=1) 0.967
汽化热 , 沸点下 202.76kJ/kg,87.19 BTU/1b
熔化热 , 熔点下 25.7kJ/kg,11.05 BTU/1b
气体定压比热容 cp ,25 ℃时 1.038kJ/(kg· k),0.248 BTU/(1b·R)
气体定容比热容 cp ,25 ℃时 0.741kJ/(kg· k),0.177 BTU/(1b·R)
气体比热容比 , cp/cv 1.401
液体比热容 ,-183℃时 2.13kJ/(kg·k ),0.509 BTU/(1b·R )
因体比热容 ,-223℃时 1.489kJ/(kg·k ),0.356 BTU/(1b·R )
气体摩尔熵 ,25℃时 191.5 J/(mol·k )
气体摩尔生成熵 ,25℃时 0 J/(mol·k )
气体摩尔生成焓 ,25℃时 0 KJ/mol
气体摩尔吉布斯生成能 ,25℃时 0 KJ/mol
溶解度参数 9.082 (J/cm3 )0.5
液体摩尔体积 34.677 cm3 /mol
在水中的溶解度 ,25℃时 17.28×10 -6(w)
气体黏度 ,25℃时 175.44×10 -7 Pa·s,175.44μP
液体黏度 ,-150℃时 0.038mPa ·s,0.038 cp
气体热导率 ,25℃ 时 0.02475 W/(m · K)
液体热导率 ,-150℃时 0.0646W/(m · K)
用途
在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。
消防应急措施与防护
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源。防止气体在低凹处积聚,遇点火源着火爆炸。用排风机将漏出气送至空旷处。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。用雾状水保持火场中容器冷却。可用雾状水喷淋加速液氮蒸发,但不可使用水枪射至液氮。如吸入高纯氮,感到呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。
安全信息
危险类别:2.2 海关编码:2804300000 危险品运输编码:UN10662.2 WGKGermany:- 安全说明:S38 RTECS号:QW9700000