'''矽磊晶'''

Si Epitaxy 矽磊晶

'''碳化矽磊'''

600V~1200V 4英吋碳化矽磊晶

'''晶氮化鎵磊晶'''

100V~600V 6英吋矽基板上的氮化鎵磊晶

<ref>http://www.epi.episil.com/</ref>