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[[File:中国科学院上海微系统与信息技术研究所.jpeg|320px|缩略图|右|<big>中国科学院上海微系统与信息技术研究所</big>[http://www.cas.cn/jg/jgyqfc/201007/W020100723517735602253.jpg 原图链接][http://www.cas.cn/jg/jgyqfc/201007/t20100723_2909923.shtml 来自 中国科学院 的图片]]]
中国科学院上海微系统与信息技术研究所(英语:Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences),简称上海微系统所,是中华人民共和国一家主要关注半导体材料和器件、集成电路、超导等领域的专业研究机构,是中国科学院直属正局级单位,其前身为1928年正式创立于上海的国立中央研究院工程研究所。中国科学院“率先行动”计划将上海微系统与信息技术研究所定位为卓越创新中心。