''' 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ''' （英语：Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences），简称上海微系统所，是 [[ 中华人民共和国 ]] 一家主要关注 [[ 半导体 ]] 材料和器件、集成电路、超导等领域的专业研究机构，是 [[ 中国科学院 ]] 直属正局级单位，其前身为1928年正式创立于上海的国立中央研究院工程研究所。中国科学院“率先行动”计划<ref>[http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2014/8/301645.shtm 光明日报：中科院启动“率先行动”计划]，科学网，2014-8-20 </ref>将上海微系统与信息技术研究所定位为卓越创新中心。

上海微系统与信息技术研究所现有 [[ 中国科学院院 士2 士]]2 人、 [[ 美国国家科学院院 士1 士]]1 人，正高级科技人员105人。

1927年11月20日， [[ 蔡元培 ]] 主持召开中央研究院筹备会议，会议通过了《中华民国大学院中央研究院组织条例》并决定优先筹备设立理化实业研究所等四个研究机构。理化实业研究所分为 [[ 物理 ]] 组、 [[ 化学 ]] 组和工程组，主要关注基础科学研究，但也包括实用的 [[ 工程学 ]] 。1928年6月9日，中央研究院第一次院务会议在上海召开，蔡元培宣布中央研究院正式成立<ref>[http://www.huaxia.com/qqla/csdh/nj/2008/03/917717.html 蔡元培与中央研究院]，华夏经纬网，2008-03-06 </ref>。院务会议之后不到一个月，理化实业研究所筹备工作即宣告完成。事实上，理化实业研究所正式成立之时就分为物理、化学和工程三个研究所，由 [[ 周仁 ]] 出任工程研究所所长。起初三个研究所合设于上海市霞飞路899号办公，后又一同搬至白利南路理工实验馆。 [[ 抗日战争 ]] 期间，工程研究所迁往昆明。1945年更名为国立中央研究院工学研究所。1946年，工学研究所返回上海理工实验馆开展工作， [[ 钢铁 ]] 研究部分留在 [[ 昆明 ]] 成为工作站。

[[ 中国共产党 ]] 取得政权后，中国科学院开始接收中央研究院 [[ 工学 ]] 研究所。1950年，中央研究院工学研究所改组为中国科学院工学实验馆，是中国科学院最初的15个研究所之一。1953年，改名中国科学院冶金陶瓷研究所。1955年开始筹建长沙分所，后独立为中国科学院矿冶研究所。1959年陶瓷部分调出成为中国科学院硅酸盐化学与工学研究所，研究所更名为中国科学院冶金研究所，昆明工作站独立为中国科学院昆明冶金陶瓷研究所。

1966年 [[ 毛泽东 ]] 发动 [[ 文化大革命 ]] 后，国防工业的科研、生产、建设等各方面也受到严重影响而趋于瘫痪。聂荣臻于1967年先后向 [[ 中共中央 ]] 提交了《关于军事接管和调整改组国防科研机构的请示报告》和《关于国防科研体制调整改组方案的报告》。根据批复，国防科委提供具体的调整和改组方案，次年1月份开始执行。1968年，冶金研究所正式划归国防科委，改名“国防科委十六研究院第三研究所”。1970年，研究所复归科学院，定名中国科学院上海冶金研究所。