工业生产常用的气相外延工艺有：[[四氯化硅]]（锗）外延，硅（锗）[[烷外延]]、[[三氯氢硅]]及[[二氯二氢硅]]等（二氯二氢硅具有淀积温度低，沉积速度快，淀积成膜均匀等优点）外延等 [1] 。