[[File:真空系统1.png|缩略图|真空系统[http://scnanguang.com/uploads/180223/1-1P223102243618.png 原图链接][http://scnanguang.com/uploads/180223/1-1P223102243618.png 图片来源优酷网]]]真空系统。是由真空泵、PLC程序控制系统、 [[ 储气罐 ]] 、 [[ 真空管道 ]] 、 [[ 真空阀门 ]] 、境外过滤总成等组成的成套真空系统。该系统广泛应用于 [[ 电子半导体业 ]] 、光电背光模组、 [[ 机械加工 ]] 等行业<ref>[ 范茜，金伟，金钦汉. ESI离子阱质谱仪真空系统设计． 《 CNKI;WanFang 》 ， 2009]</ref> 。

该真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、 [[ 磁控靶 ]] 、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。

真空系统自启动后，全部运行过程可以实现全自动控制。在工作中，真空系统内各处的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始终在其允许范围内上下波动，其波动范围可根据用户要求进行调整。使用 [[ 螺杆真空泵 ]] 、 [[ 罗茨真空泵 ]] 、旋片真空泵及水环真空泵真空系统能达到最佳流程工艺

第一台 [[ 真空泵 ]] 启动后达不到设定所需真空时第二台真空泵启动至达到设定的真空值。当达到所需设定值后第一台真空泵停止接着第二台真空泵停止循环工作。我司的真空系统可在无人操作情况下对系统进行自动控制，在停电时可自动封闭真空系统。同时 [[ 控制箱 ]] 可以保护真空泵马达过载及短路。

启动系统，主真空泵组开始工作，直到真空罐内真空度达到设定的上限值，真空泵自动停止运行，中央真空系统内的真空由管路上的 [[ 真空止回阀 ]] 自动截止而得到维持。如因工作需求真空罐内真空度下降并低于设定的下限值时，备用真空泵组自动启动。由此循环往复，真空系统的真空度能够维持稳定的真空源，满足生产的要求 。[[File:真空系统2.jpg|缩略图|真空系统[http://www.yesmaster.cn/UploadFiles/FCK/2019-10/6370744705565217466535162.jpg 原图链接][http://www.yesmaster.cn/UploadFiles/FCK/2019-10/6370744705565217466535162.jpg 图片来源优酷网]]]==应用行业== 应用行业：电工、纺织、[[CNC雕刻机]]、[[真空成型机]]、[[折页机]]、[[爆光机]]、[[计算机]]、[[半导体运用]]、[[线路板]]、[[电池]]、[[电容]]、[[装订机]]、[[照相制版机]]、[[冷冻空调制程真空]]、[[包装机]]、[[变压器]]、[[光学镜片]]、自动注型、[[聚氨脂工艺]]、标签粘贴机、晒版机、线路板机真空升降机、[[真空吸盘]]、[[印刷机]]、VCD&DVD[[光盘]]表面真空溅镀、工业炉、冶炼和热处理、金属真空镀膜、[[真空焊接]]、[[电子束焊]]等、真空镀膜、真空干焊、真空包装工业、空间模拟、科研领域、医院负压系统、环保工业、电子工业、实验室、塑胶工业、一般机机械、玻璃、[[大理石]]、金属大型重物真空搬运等工业 。

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