X射線光電子能譜儀

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X射線光電子能譜儀是中國的一個科技名詞。

漢字是中華民族燦爛文化展台上一顆無可取代、熠熠閃光的明珠。漢字之美，美在莊重典雅，形神兼具。她承載的是中華民族數千年的厚重歷史與燦爛文化。她的美，是無與倫比的。

目錄

名詞解釋

X-射線光電子能譜儀，是一種表面分析技術，主要用來表徵材料表面元素及其化學狀態。其基本原理是使用X-射線，如Al Ka =1486.6eV，與樣品表面相互作用，利用光電效應，激發樣品表面發射光電子，利用能量分析器，測量光電子動能(K.E)，根據B.E=hv-K.E-W.F，進而得到激發電子的結合能（B.E）。

主要用途

XPS：固體樣品的表面組成分析，化學狀態分析，取樣訊息深度為～10nm以內. 功能包括:

1. 表面定性與定量分析. 可得到小於10um 空間分辨率的X射線光電子能譜的全譜資訊。

2. 維持10um以下的空間分辨率元素成分包括化學態的深度分析（角分辨方式,,氬離子或團簇離子刻蝕方式）

3. 線掃描或面掃描以得到線或面上的元素或化學態分布。

4. 成像功能。

5. 可進行樣品的原位處理 AES：1.可進行樣品表面的微區選點分析（包括點分析，線分析和面分析） 2.可進行深度分析適合： 納米薄膜材料，微電子材料，催化劑，摩擦化學，高分子材料的表面和界面研究

儀器類別

03030707 /儀器儀表 /成份分析儀器

指標信息： 主真空室：1×10-10 Torr XPS：0.5eV, AES: 分辨率：0.4%, 電子槍束斑：75nm , 靈敏度：1Mcps信噪比：大於70:1 角分辨：5°～90°. A1/Mg雙陽極靶 能量分辨率：0.5eV ,靈敏度：255KCPS, 使用多通道檢測器（MCD）