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真空系統。是由真空泵、PLC程序控制系統、儲氣罐真空管道真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統。該系統廣泛應用於電子半導體業、光電背光模組、機械加工等行業[1]

中文名:真空系統

外文名:vacuum system

簡介

該真空系統出廠時已經包括了抽速控制、進氣過濾、主要運行數據顯示、運行保護及遠程控制接口等。只需要在現場進行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個完整的真空系統。該真空系統的控制系統由先進的PLC控制系統經過編程後組成,以觸摸屏為人機界面,實現對真空系統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護系統等的全自動化控制。

特點

真空系統自啟動後,全部運行過程可以實現全自動控制。在工作中,真空系統內各處的真空度(即真空稀薄程度平均分布)始終在其允許範圍內上下波動,其波動範圍可根據用戶要求進行調整。使用螺杆真空泵羅茨真空泵、旋片真空泵及水環真空泵真空系統能達到最佳流程工藝

第一台真空泵啟動後達不到設定所需真空時第二台真空泵啟動至達到設定的真空值。當達到所需設定值後第一台真空泵停止接着第二台真空泵停止循環工作。我司的真空系統可在無人操作情況下對系統進行自動控制,在停電時可自動封閉真空系統。同時控制箱可以保護真空泵馬達過載及短路。

工作原理

啟動系統,主真空泵組開始工作,直到真空罐內真空度達到設定的上限值,真空泵自動停止運行,中央真空系統內的真空由管路上的真空止回閥自動截止而得到維持。如因工作需求真空罐內真空度下降並低於設定的下限值時,備用真空泵組自動啟動。由此循環往復,真空系統的真空度能夠維持穩定的真空源,滿足生產的要求。

應用行業

應用行業:電工、紡織、CNC雕刻機真空成型機折頁機爆光機計算機半導體運用線路板電池電容裝訂機照相製版機冷凍空調製程真空包裝機變壓器光學鏡片、自動注型、聚氨脂工藝、標籤粘貼機、曬版機、線路板機真空升降機、真空吸盤印刷機、VCD&DVD光盤表面真空濺鍍、工業爐、冶煉和熱處理、金屬真空鍍膜、真空焊接電子束焊等、真空鍍膜、真空干焊、真空包裝工業、空間模擬、科研領域、醫院負壓系統、環保工業、電子工業、實驗室、塑膠工業、一般機機械、玻璃、大理石、金屬大型重物真空搬運等工業。

視頻

現場解析真空系統,如何確保物料被吸起來

參考文獻

  1. [ 范茜,金偉,金欽漢. ESI離子阱質譜儀真空系統設計. 《 CNKI;WanFang 》 , 2009]