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国产8英寸石墨烯晶圆成果
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{| class="wikitable" align="right" |- |<center><img src=http://p6.itc.cn/images01/20201027/abeda78bf5744a92b49eae40db472859.jpeg width="300"></center> <small>[https://www.sohu.com/a/427571329_827756 来自 搜狐网 的图片]</small> |} '''国产8英寸石墨烯晶圆成果'''[[信息]]电子材料。 关键词: [[石墨烯]]晶圆 芯片<ref>[https://www.sohu.com/a/532006242_150227 什么是芯片?],搜狐,2022-03-23</ref> 半导体 碳基芯片 ==应用领域== [[半导体]] 集成电路行业 ==成果简介== 在2021年召开的“全球IEEE(电气和电子工程师协会)国际芯片导线技术会议”上,IMEC(欧洲微电子研究中心)提出了四种延续摩尔定律、打破2nm芯片物理极限的方法。这几种方法无一不是建立在了使用“石墨烯材料”的基础之上。经过讨论,[[专家]]组最终达成一致,将石墨烯定位下一代新型半导体材料,将碳基芯片定义为下一个芯片时代的主流。 正如单晶硅晶圆推动了传统硅基集成电路产业60 余年的繁荣发展,单晶石墨烯晶圆的批量制备,有利于解决碳基电子器件实用化面临的[[技术]]障碍,加速推进我国碳基集成电路技术的创新跨越发展,同时也对石墨烯在传感器<ref>[https://www.sohu.com/a/404514914_120665387 传感器大全,收藏!],搜狐,2020-06-28</ref>、可穿戴设备、数据通信、以及新能源等多项前沿领域规模化应用具有深远影响。 中科院上海微系统所研究团队从2010年起就一直致力于高质量石墨烯电子材料制备方面的研究。团队花10年工夫,掌握了石墨烯单晶晶圆可控制备技术,实现了4—8英寸单晶的小批量[[生产]]。在国家科技重大专项、[[上海市]]科委项目支持下,团队解决了用籽晶制备单晶的技术难题,让一个几百微米大小的石墨烯籽晶在二维平面上生长。经过约2.5小时,籽晶能生长成1.5英寸大小的石墨烯单晶,生长速度和单晶尺寸都创造了世界纪录。经过后期设计优化,团队已能制备8英寸石墨烯单晶晶圆。团队还在国际上首次实现了半导体锗基石墨烯CVD(化学气相沉积)制备,研制出4英寸锗基石墨烯晶圆。团队在高品质石墨烯电子[[材料]]制备方面取得多项突破,于2020年4月获得上海市自然科学奖一等奖。此外,团队还在石墨烯材料制备与器件应用领域申请100余项专利,授权70余项,其中国际专利9项。 ==经济效益与社会效益== 2020年,在石墨烯产业技术创新战略联盟(CGIA)主办的2020中国国际[[石墨烯]]创新大会上,中科院上海微系统所科研团队发布了国产8英寸石墨烯晶圆成果,目前该成果进入小规模量产阶段,不管在产品尺寸、产品质量方面均处于国际领先地位!这是由我国自主研发,自主[[知识产权]]的全新形态晶圆。它不同于目前的硅基晶圆,是由碳元素为基底构成的晶圆,一旦投入量产,这种晶圆就可以用于生产全新材质的芯片,并且,很有可能会改写全球芯片发展的轨迹。 ==参考文献== [[Category:500 社會科學類]]
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