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第三代半导体
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Gan(氮化镓)和SiC(碳化矽)是两种宽带隙电晶体,被称为第三代半导体。 由于它们具有更好的物理和化学效能、高功率、耐高温、高崩溃电压、高电流密度和高频,可以大大减少晶体面积,简化周边电路设计。 第三代半导体的禁带比传统半导体材料矽(SI)的禁频宽得多。 能隙决定了半导体的塌陷电场,也就是它能承受的电压。 带隙越宽,资料越能承受高电压和高电流。 第三代半导体是5g、电动汽车、大功率应用(如快速充电)、雷达等重要的关键部件。[1]

第一代半导体材料为矽(SI),矽的带隙宽度约为1.17eV; 第二代资料是砷化镓(GaAs),它是当今大多数通信设备的资料; 第三代资料是指带隙宽度为2.3ev及以上的半导体材料。 SiC的禁带宽度为3.26eV,Gan的禁带宽度为3.5eV,因此它已成为功率或射频器件的新材料。

SiC和Gan在晶体生长、外延、器件设计和制造方面都面临著巨大的挑战,这也是第三代电晶体尚未普及的原因。

SiC由Si和C两种元素组成。要合成SiC晶体,需要2600摄氏度的高温,这比矽(Si)单晶的生产温度高出1000多摄氏度。 SiC单晶的种子需要一块高品质的晶片。 通过加热和升华,Si和C蒸汽附著在SiC晶片上端,SiC晶体柱生长。 碳化矽比矽硬。 后续晶圆的切割、研磨和抛光既耗时又费力。 上部SiC晶片粘附在石墨加热器上,因此晶体柱不能生长得很厚很长,因此晶体柱比Si短得多。

Gan比SiC更复杂。 Gan没有自己的衬底,必须连接到外部衬底上。 国外最常用的衬底是蓝宝石、碳化矽和矽。 蓝宝石衬底上外延生长Gan是普通蓝色或白色LED的标准工艺; 如果生长在SiC衬底上,则是5g基站PA微波功率放大器的实践; 如果它生长在矽衬底上,它就是一个功率元件。 然而,Gan外延不容易在Si衬底上成功生长,因为它们的晶格常数相差17%,热膨胀系数相差大于50%。应用终端继续朝著高压大电流的方向发展。 由于矽有其天赐的极限,它还吸引制造商投资于GaN和SiC领域,以抓住新一代半导体元件的商机。

第三代半导体(包括 SiC 基板)产业链依序为基板、磊晶、设计、制造、封装,不论在材料、IC 设计及制造技术上,仍由国际 IDM 厂主导,代工生存空间小,目前台湾供应商主要集中在上游材料(基板、磊晶)与晶圆代工。

从科技角度来看,Si上的Gan和SiC上的Gan有不同的问题需要解决。 除了工艺困难和成本高之外,资料端的衬底和外延科技也很困难,因此无法大量生产。 在Gan-on-Si工艺中,为了在矽衬底上外延生长Gan,必须克服晶格失配的问题。

对于SiC、SiC衬底上Gan的关键资料,其制造技术更为复杂和困难,需要长晶、切割和研磨。 SiC单晶棒的生产比Si单晶棒的生产难度更大,所需时间更长。 Si Long crystal可以在大约3天内生产出200釐米高的水晶棒,但SiC需要7天才能生长出2到5釐米高的水晶球。 此外,碳化矽资料又硬又脆,因此更难切割和研磨。[2]

现时,SiC基板主要由Cree、II-VI、英飞凌、STM、Rohm、三菱、富士电力等国际制造商主导,主要为6英寸或8英寸晶片; 台湾的工厂主要是4英寸晶圆,6英寸晶圆科技尚未大规模生产。

此外,大多数碳化矽基板原材料依赖国外进口,但许多国家将碳化矽资料视为战略资源。 台湾工厂获得碳化矽资料相对困难,原材料价格也较高; 与可用于汽车市场和快速充电的SiC和Gan-on-Si相比,Gan-on-SiC的应用方向还不够明确,因此需要一段时间才能完全投入开发。

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参考资料

  1. 第三代半导体05.09.2020 MoneyDJ理财网
  2. 第三代半导体到底红什么?09.22.2021 科技新报