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CMOS工藝是在PMOS和NMOS工藝基礎上發展起來的。CMOS中的C表示「互補」,即將NMOS器件和PMOS器件同時製作在同一硅襯底上,製作CMOS集成電路

目錄

工藝

CMOS電路中既包含NMOS晶體管也包含PMOS晶體管,NMOS晶體管是做在P型硅襯底上的,而PMOS晶體管是做 在N型硅襯底上的,要將兩種晶體管都做在同一個硅襯底上,就需要在硅襯底上製作一塊反型區域,該區域被稱為「」。根據阱的不同,CMOS工藝分為P阱CMOS工藝、N阱CMOS工藝以及雙阱CMOS工藝。其中N阱CMOS工藝由於工藝簡單、電路性能較P阱CMOS工藝更優,從而獲得廣泛的應用。 [1]

概況

CMOS工藝是在PMOS和NMOS工藝基礎上發展起來的。CMOS中的C表示「互補」,即將NMOS器件和PMOS器件同時製作在同一硅襯底上,製作CMOS集成電路。

優勢

CMOS集成電路具有功耗低、速度快、抗干擾能力強、集成度高等眾多優點。CMOS工藝已成為當前大規模集 成電路的主流工藝技術,絕大部分集成電路都是用CMOS工藝製造的。 [2]

參考文獻