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最早的城隍庙见于[[三国]]吴赤乌二年（239）建的[[芜湖城隍庙]] <ref>[https://xw.qq.com/cmsid/20181105A1ASAR00 芜湖城隍庙——天下第一城隍庙！]，腾讯网，2018-11-05 </ref> 。历史上有唐人张说、李德裕、李阳冰、[[杜牧]]等祭祀城隍神的文献记载。宋代以后，城隍开始人格化、多以去世后的[[英雄]]或名臣奉为城隍神，如苏州祀战国时春申君[[黄歇]]，上海祀秦裕伯，北京祀[[文天祥]]、杨椒山，杭州祀周新，会稽祀庞王，南宁、桂林祀苏缄等。后唐末帝清泰元年（934）封城隍为王爵。

[[明太祖]]洪武元年（1368）则下旨封开封、临濠、束和、平滁四城的城隍为王，职位正一品，与人间的太师、太傅、太保“三公”和左、右丞相平级，又封各府、州、县城隍为公、侯、伯，即府城隍为监察司氏城隍威灵公，职位正二品；州城隍为监察司氏城隍显佑侯，职位正三品；县城隍为监察司氏城隍显佑伯，职位正四品，并且重建各地城隍庙，规模高广与当地官署衙门完全一样，还按级别配制冕旒哀服 <ref>[https://www.baishuku.com/html/32/32056/12642889.html 城隍]，百书库</ref> 。明太祖洪武三年（1370）正祀典，诏去封号，只称“某府或某县城隍之神，又令各地城隍庙不得杂祀其他之神。据说明太祖朱元璋出生在土地庙里，所以他对土地庙以及土地的“上司”城隍极为崇敬。[[朱佑樘|明孝宗]]年间（1488—1506），莆田抗元英雄[[陈文龙]]（1232—1277）被封为福州城隍爷，其从叔抗元英雄[[陈瓒]]（1232—1277）被封为兴化府城隍爷。