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中国科学院上海微系统与信息技术研究所（英语：Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences），简称上海微系统所，是中华人民共和国一家主要关注半导体材料和器件、集成电路、超导等领域的专业研究机构，是中国科学院直属正局级单位，其前身为1928年正式创立于上海的国立中央研究院工程研究所。中国科学院“率先行动”计划将上海微系统与信息技术研究所定位为卓越创新中心。