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扫描隧道显微镜（英语：Scanning Tunneling Microscope，缩写为STM），是一种利用量子隧穿效应探测物质表面结构的仪器。它于1981年由格尔德·宾宁及海因里希·罗雷尔在IBM位于瑞士苏黎世的苏黎世实验室发明 <ref>[https://www.sohu.com/a/139589683_346845 6大常用显微技术与设备！3分钟读懂！ ]，搜狐，2017-05-10</ref> ，两位发明者因此与电子显微镜的发明者恩斯特·鲁斯卡分享了1986年诺贝尔物理学奖。
扫描隧道显微镜技术是扫描探针显微术的一种，基于对探针和表面之间的隧穿电流大小的探测，可以观察表面上单原子级别的起伏。此外，扫描隧道显微镜在低温下可以利用探针尖端精确操纵单个分子或原子，因此它不仅是重要的微纳尺度测量工具，又是颇具潜力的微纳加工工具。
==基本结构==
扫描隧道显微镜的测量干扰主要来源于机械震动和电噪音 <ref>[https://www.docin.com/p-106582750.html 扫描隧道显微镜原理、结构及其应用]，豆丁网</ref> ，因此需要在有较高防震水平的防震台上工作。
其机械部分的实现难点在于如何驱动针尖或样品在微纳尺度范围内做精确运动，因此用到了压电陶瓷管。