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'''山东大学微电子材料与器件研究所'''是在原物理学院光电材料与器件研究所基础上建立的。1989年在原[[物理系]]半导体研究室的基础上成立了光电材料与器件研究所，光电材料与器件研究所建所以来，连续承担了“八五”、“九五”国家重点科技攻关项目、国家军工配套项目，[[国家自然科学基金]] <ref>[https://www.163.com/dy/article/G0MKVFME0511DCTQ.html 重磅！2021国家自然科学基金项目指南发布]，网易，2021-01-19</ref> 项目以及[[教育部]]和[[山东省]]各类科研项目；取得科技成果奖励20多项，其中“30×30cmITO透明导电膜”、“氧化物光电薄膜研究”、“电子工业替代ODS清洗剂及清洗技术研究”等为国家和省部级重要科技成果，建立起“国家电子元器件清洗技术研究推广中心”。
山东大学微电子材料与器件研究所经过“985”和“211”学科建设，微电子材料与器件研究所现有一流微细加工实验室，已具备材料生长、纳米器件工艺加工能力，2011年申请获批山东省微电子材料与器件省重点实验室。微电子材料与器件研究所科研主要设备包括：[[电子束曝光系统]]、紫外光刻机、MOCVD系统、PLD系统、[[电子束蒸发]]台、反应离子刻蚀、磁控溅射以及半导体材料与器件光电特性表征等设备。
目前，承担国家自然科学基金项目11项，研究经费: 804万元；参与1项973项目和1项国家重大专项，承担多项省部级和横向课题研究项目；总研究经费超过1000万元。
每年发表SCI <ref>[https://www.sohu.com/a/209195314_100018922 学术期刊索引的SCI、SSCI、EI、ISTP、ISSHP……都是什么意思？ ]，搜狐，2017-12-07</ref> 收录论文30多篇；[[授权]]多项发明专利。
==硬件条件==