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MEMS加速器衍生出三種設計，說明如下：
壓電式：運用壓電效應，內部有一個剛體支撐的質量塊，在運動狀況下，質量塊會產生壓力，剛體產生變化，將加速度轉變成電壓信號輸出。這種加速器只能感應到「動態」加速度(重力加速度)，不能感應用「靜態」加速度。主要發展的廠商多為日系廠商。<ref>[https://www.moneydj.com/kmdj/wiki/wikiviewer.aspx?keyid=aa05acee-1698-404c-b606-b30c4e51e74d MEMS加速器]06.12.2021 MoneyDj理財網</ref>
電容式：內部也有一個質量塊，在加速度時，會帶動活動質量塊移動，改變電容兩極的間距及正對面積，進而測量出電容變化量來計算加速度。主要發展的廠商多為歐美廠商。