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在国内，本学报被[[北京大学图书馆]]、北京高校图书馆期刊工作研究会共同确定为中文核心期刊；[[中国科学院文献情报中心]]、中国社会科学院文献信息中心、中国学术期刊（光盘版），电子杂志社和北京大学图书馆共同确定为《中国科学引文数据库》和《中国学术期刊综合评价数据库》来源期刊，《中国学术期刊（光盘版）》全文收录。
《真空科学与技术学报》报道的主要内容：真空科学与技术、薄膜物理与工艺、表面与界面物理、应用表面科学、[[物理]][[电子学]]、电子材料及处理、纳米科学与技术 <ref>[https://www.sohu.com/a/237948839_99934049 最新报告 中国纳米科学与技术发展状况] ，搜狐，2018-06-26 </ref> 、电真空技术、核真空技术及真空冶金等。
==杂志信息==
期刊尺寸：大16开
国际标准刊号：ISSN <ref>[https://www.sohu.com/a/253158819_100273000 国际标准刊号（ISSN）申请] ，搜狐，2018-09-11</ref> 1672-7126
国内统一刊号：CN 11-5177/TB