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==专业委员会==
学会设有7个专业委员会：真空工程专业委员会、表面与纳米 <ref>[https://www.sohu.com/a/551430124_121114489 纳米技术知多少]，搜狐，2022-05-26</ref> 科学专业委员会、质谱分析与检漏专业委员会、电子材料与器件专业委员会、薄膜专业委员会、真空冶金专业委员会和显示技术专业委员会；设有6个工作委员会《真空科学与技术学报》编辑工作委员会、咨询工作委员会、真空科学技术普及教育工作委员会、真空科学与技术奖学金评审工作委员会、中国真空学会办公室、中国真空网。
学会理事会150名理事，49名常务理事。现有团体会员278家，个人会员约3500人，分布在全国27个省市、自治区的近800个单位。
中国真空学会是非官方组织，对其会员提供广泛的服务：组织各类学术活动，促进真空科学与技术领域的国内和国际交流与合作；编辑《真空科学与技术（中文版）》学报，出版各种不同的书籍、视听出版物；推动真空科学与技术导入不同的相关产业；为工业厂家和政府部门提供研发战略方面的决策顾问和技术咨询服务；通过培训工程人员、青少年和下岗工人普及真空科学与技术；组织真空科学与技术领域的最新研发成果、高新技术和产品展览；向科学家、工程师和技术人员提供在职培训和继续教育。
此外，中国真空学会 <ref>[https://www.sohu.com/a/137884410_114731 学会为什么要有会员] ，搜狐，2017-05-03</ref> 自1990年起创立（邵公田）奖学金；1993年创立真空科学与技术成就奖，2008年改为中国真空科学成就奖和中国真空科技青年创新奖。
中国真空学会迄今为止已成功举办了十六届国际真空展览会和第18届国际真空大会，在真空企业界树立了良好的口碑度与知名度，而两年一届学术大会的召开，又为全国真空专业领域的学术交流，创造了浓郁的学术氛围，促进了科技成果的开发和推广应用。