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山东大学（威海）副院长

杨田林

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杨田林，男。1960年10月出生于山东潍坊，现任山东大学（威海）副院长 。研究方向为半导体薄膜材料与器件、超硬薄膜材料和光子带隙材料 。

中文名 ：杨田林

出生日期：1960年10月

性 别 ：男

出生地：山东潍坊

职 业 ：山东大学（威海）副院长

目录

1基本信息

2研究方向

3教授课程

4获奖及专利

5发表论文

1基本信息

杨田林，男，山东潍坊人，1960年10月生，博士，教授，硕士生导师，致公党员，中国电子协会高级会员；任山东大学（威海）空间科学与物理学院副院长；

学院省级实验教学示范中主任。

2研究方向

1、半导体薄膜材料与器件

主要研究宽禁带半导体光电薄膜材料、薄膜晶体管

2、超硬薄膜材料

主要研究氮化物、碳化物、类金刚石等超硬薄膜

3、光子带隙材料

主要研究光子晶体布洛赫表面波的特性及其应用

3教授课程

《半导体物理》、《原子物理》、《普通物理》、《近代物理实验》、《普通物理实验》、《专业物理实验》、《薄膜材料制备技术》、《前沿讲座》等。

科研情况基金项目：

[1]山东省科委项目：柔性衬底透明导电膜制备，2000-2002

[2]山东省自然基金：硅基GaN薄膜光电导紫外光探测器的制备与研究，1997.1-1999.12。

[3]国家自然科学基金：有机发光器件的柔性透明电极的制备、微结构和光学特性的研究，2002.1－2004.12

[4]山东省科委项目，柔性衬底ZnO:Al透明导电膜制备和光电特性研究，第二位。

[5]山东省计委项目：磁控溅射柔性衬底ITO透明导电膜的研究，1997.1-1999.12。

[6]国家自然科学基金：有机半导体自旋注入，2007.1-2009.12，第二位。

[7]有机发光器件自旋极化电极的制备、微结构和对器件对器件发光特性的影响，2005年，XZ2004001主持，校级。

[8]山东省自然基金：缓冲层在提高透明导电薄膜性能方面的实验与理论研究，2009年。

[9]山东省自然基金：一维金属－介电型光子晶体的理论及相关实验研究，主持，2008年。

4获奖及专利编辑

专利：

发明专利一项，专利号CN101552048A，第一位。

获奖：

[1]2002年12月，氧化物光电薄膜的研究获教育部提名国家科学技术（自然科学奖）一等奖，第四位。

[2]可调的透明导电薄膜的制备与特性研究，威海市优秀学术成果二等奖，2009年，第一位。

研究成果

1.首次在柔性衬底上制备出AZO透明导电薄膜，单篇文章已被引用191次；

2.制备了氮化锌薄膜，并对其性能进行测试，结束了关于氮化锌禁带类型和宽度的长期争论；

3.制备了ZnO:Y透明导电薄膜，该成果已申请了发明专利；

4.制备了多种金属基复合薄膜和具有不同缓冲层的透明导电薄膜，研究了其结构与光电特性；

5.制备了非晶IGZO薄膜晶体管，研究了器件性能；

5发表论文

[1] Yanhui Li, Tianlin Yang, Shumei Song, Zhiyong Pang, Guiqiang Du, Shenghao Han, Phase properties of Bloch surface waves and their sensing applications, APPLIED PHYSICS LETTERS 103, 041116 (2013).

[2] TianlinYang,shumei Song, Yanhui Li,Yanqing Xin,Guiqiang Du,Maoshui Lv, Shenghao Han, The enhanced conductivity and stability of AZO thin films with aTiO2buffer layer,Physica B 407 (2012) 4518–4522. SCI.

[3] Shumei Song, Tianlin Yang, Jingjing Liu, Yanqing Xin, Yanhui Li, Shenghao Han, Rapid thermal annealing of ITO films, Applied Surface Science, Applied Surface Science, 257 (2011) 7061-7064. SCI

[4] Shumei Song, Tianlin Yang *, Maoshui Lv , Yanhui Li, Yanqing Xin , Lili Jiang, Zhongchen Wu,Shenghao Han, Effect of Cu layer thickness on the structural, optical and electrical propertiesof AZO/Cu/AZO tri-layer films, Vacuum, 85 (2010) 39-44. SCI

[5] Shumei Song, Tianlin Yang*, Yanqing Xin, Lili Jiang, Yanhui Li, Zhiyong Pang, Maoshui Lv, Shenghao Han, Effect of GZO thickness and annealing temperature on the structural, electrical and optical properties of GZO/Ag/GZO sandwich films, Current Applied Physics 10 (2010) 452-456. SCI

[6] Shumei Song, Tianlin Yang*, Yanhui Li, ZhiYong Pang, Liang Lin, Maoshui Lv, Shenghao Han, Structural, electrical and optical properties of ITO films with a thin TiO2seed layer prepared by RF magnetron sputtering. Vacuum, 83（2009）1091-1094. SCI

[7] Tianlin Yang*, Zhisheng Zhang, Yanhui Li, MaoShui Lv, Shumei Song, Zhongchen Wu, Jincheng Yan, Shenghao Han, Structural and optical properties of zinc nitride films prepared by rf magnetron sputtering, Applied Surface Science , 255 (2009) 3544-3547. SCI

[8] Tianlin Yang*, Zhisheng Zhang, Shumei Song, Yanhui Li, MaoShui Lv ,

Zhongchen Wu, Shenghao Han, Structural, optical and electrical properties of

AZO/Cu/AZO tri-layer films prepared by radio frequency magnetron sputtering and ion-beam sputtering, Vacuum, 83 (2009) 257-260. SCI

李帅帅,梁朝旭,王雪霞,李延辉,宋淑梅,辛艳青,杨田林*.高迁移率非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制备与特性研究*,物理学报Acta Phys. Sin. Vol. 62, No. 7 (2013) 077302. SCI.

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