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山東大學（威海）副院長

楊田林

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楊田林，男。1960年10月出生於山東濰坊，現任山東大學（威海）副院長 。研究方向為半導體薄膜材料與器件、超硬薄膜材料和光子帶隙材料 。

中文名 ：楊田林

出生日期：1960年10月

性 別 ：男

出生地：山東濰坊

職 業 ：山東大學（威海）副院長

目錄

1基本信息

2研究方向

3教授課程

4獲獎及專利

5發表論文

1基本信息

楊田林，男，山東濰坊人，1960年10月生，博士，教授，碩士生導師，致公黨員，中國電子協會高級會員；任山東大學（威海）空間科學與物理學院副院長；

學院省級實驗教學示範中主任。

2研究方向

1、半導體薄膜材料與器件

主要研究寬禁帶半導體光電薄膜材料、薄膜晶體管

2、超硬薄膜材料

主要研究氮化物、碳化物、類金剛石等超硬薄膜

3、光子帶隙材料

主要研究光子晶體布洛赫表面波的特性及其應用

3教授課程

《半導體物理》、《原子物理》、《普通物理》、《近代物理實驗》、《普通物理實驗》、《專業物理實驗》、《薄膜材料製備技術》、《前沿講座》等。

科研情況基金項目：

[1]山東省科委項目：柔性襯底透明導電膜製備，2000-2002

[2]山東省自然基金：硅基GaN薄膜光電導紫外光探測器的製備與研究，1997.1-1999.12。

[3]國家自然科學基金：有機發光器件的柔性透明電極的製備、微結構和光學特性的研究，2002.1－2004.12

[4]山東省科委項目，柔性襯底ZnO:Al透明導電膜製備和光電特性研究，第二位。

[5]山東省計委項目：磁控濺射柔性襯底ITO透明導電膜的研究，1997.1-1999.12。

[6]國家自然科學基金：有機半導體自旋注入，2007.1-2009.12，第二位。

[7]有機發光器件自旋極化電極的製備、微結構和對器件對器件發光特性的影響，2005年，XZ2004001主持，校級。

[8]山東省自然基金：緩衝層在提高透明導電薄膜性能方面的實驗與理論研究，2009年。

[9]山東省自然基金：一維金屬－介電型光子晶體的理論及相關實驗研究，主持，2008年。

4獲獎及專利編輯

專利：

發明專利一項，專利號CN101552048A，第一位。

獲獎：

[1]2002年12月，氧化物光電薄膜的研究獲教育部提名國家科學技術（自然科學獎）一等獎，第四位。

[2]可調的透明導電薄膜的製備與特性研究，威海市優秀學術成果二等獎，2009年，第一位。

研究成果

1.首次在柔性襯底上製備出AZO透明導電薄膜，單篇文章已被引用191次；

2.製備了氮化鋅薄膜，並對其性能進行測試，結束了關於氮化鋅禁帶類型和寬度的長期爭論；

3.製備了ZnO:Y透明導電薄膜，該成果已申請了發明專利；

4.製備了多種金屬基複合薄膜和具有不同緩衝層的透明導電薄膜，研究了其結構與光電特性；

5.製備了非晶IGZO薄膜晶體管，研究了器件性能；

5發表論文

[1] Yanhui Li, Tianlin Yang, Shumei Song, Zhiyong Pang, Guiqiang Du, Shenghao Han, Phase properties of Bloch surface waves and their sensing applications, APPLIED PHYSICS LETTERS 103, 041116 (2013).

[2] TianlinYang,shumei Song, Yanhui Li,Yanqing Xin,Guiqiang Du,Maoshui Lv, Shenghao Han, The enhanced conductivity and stability of AZO thin films with aTiO2buffer layer,Physica B 407 (2012) 4518–4522. SCI.

[3] Shumei Song, Tianlin Yang, Jingjing Liu, Yanqing Xin, Yanhui Li, Shenghao Han, Rapid thermal annealing of ITO films, Applied Surface Science, Applied Surface Science, 257 (2011) 7061-7064. SCI

[4] Shumei Song, Tianlin Yang *, Maoshui Lv , Yanhui Li, Yanqing Xin , Lili Jiang, Zhongchen Wu,Shenghao Han, Effect of Cu layer thickness on the structural, optical and electrical propertiesof AZO/Cu/AZO tri-layer films, Vacuum, 85 (2010) 39-44. SCI

[5] Shumei Song, Tianlin Yang*, Yanqing Xin, Lili Jiang, Yanhui Li, Zhiyong Pang, Maoshui Lv, Shenghao Han, Effect of GZO thickness and annealing temperature on the structural, electrical and optical properties of GZO/Ag/GZO sandwich films, Current Applied Physics 10 (2010) 452-456. SCI

[6] Shumei Song, Tianlin Yang*, Yanhui Li, ZhiYong Pang, Liang Lin, Maoshui Lv, Shenghao Han, Structural, electrical and optical properties of ITO films with a thin TiO2seed layer prepared by RF magnetron sputtering. Vacuum, 83（2009）1091-1094. SCI

[7] Tianlin Yang*, Zhisheng Zhang, Yanhui Li, MaoShui Lv, Shumei Song, Zhongchen Wu, Jincheng Yan, Shenghao Han, Structural and optical properties of zinc nitride films prepared by rf magnetron sputtering, Applied Surface Science , 255 (2009) 3544-3547. SCI

[8] Tianlin Yang*, Zhisheng Zhang, Shumei Song, Yanhui Li, MaoShui Lv ,

Zhongchen Wu, Shenghao Han, Structural, optical and electrical properties of

AZO/Cu/AZO tri-layer films prepared by radio frequency magnetron sputtering and ion-beam sputtering, Vacuum, 83 (2009) 257-260. SCI

李帥帥,梁朝旭,王雪霞,李延輝,宋淑梅,辛艷青,楊田林*.高遷移率非晶銦鎵鋅氧化物薄膜晶體管的製備與特性研究*,物理學報Acta Phys. Sin. Vol. 62, No. 7 (2013) 077302. SCI.

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