二氯硅烷

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二氯硅烷是一個科技名詞。

中華文明是一種獨特的文明，其文字也是非常獨特的。在世界上所有的國家中，只有中國由於其民族文化強大的包容性與同化性而始終沒有間斷過的文化傳承，這使漢字成為世界上較少的沒有間斷過的文字形式。約公元前14世紀殷商後期出現的甲骨文被廣泛認為是漢字的第一種形式，一直發展到今日，有三四千年的歷史。

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名詞解釋

二氯硅烷（化學物質）一般指二氯甲硅烷

二氯甲硅烷是一種無機化合物，化學式為SiH2Cl2，相對分子量為101.007。其主要用途是半導體生產，在化學氣相沉積室中將其與氨混合，可以生長氮化硅薄膜。

研究簡史

二氯甲硅烷最初是在1919年通過甲硅烷與氯化氫的氣相反應製備的，該實驗由Stock和Somieski首次完成。

理化性質

在室溫和大氣壓力下，二氯甲硅烷是無色、易燃和有毒的氣體。其沸點為8.3℃。它具有刺激性氣味。在潮濕空氣中發煙，生成鹽酸和聚硅氧烷混合物。二氯甲硅烷遇水水解，與三烷基胺反應生成固態加合物（如與三甲胺反應生成SiH2Cl2·N(CH3)3）。用三氟化銻處理可生成二氟甲硅烷。在約1000℃時，可沉積出具有優良質量的均勻的外延硅結晶層。在1100℃下，二氯甲硅烷的沉積速度比三氟氫硅高很多。

二氯甲硅烷的結構與二氯甲烷類似，都是sp3雜化形成的四面體結構，其球棍模型如圖所示。不過與二氯甲烷的化學性質不同，它的硅氯鍵會發生水解反應。

製備方法

大多數二氯甲硅烷是氯化氫與硅反應的副產物，該反應是生產甲硅烷的另一個氯代物三氯甲硅烷的方法。三氯甲硅烷發生歧化可以生成二氯甲硅烷和四氯化硅：

2SiHCl3 ⇌ SiCl4 + SiH2Cl2

應用領域

二氯甲硅烷用作微電子學中半導體硅層的起始材料。使用它是因為它在較低溫度下分解並且具有較高的硅晶體生長速率。不過，二氯硅烷必須經過超純化和濃縮才能用於製造用於微電子學的半導體外延硅層。

安全信息

二氯甲硅烷是一種化學活性氣體，在空氣中很容易水解和自燃。二氯甲硅烷的毒性也很大，任何涉及使用該化學品的實驗都必須採取預防措施。安全危害還包括皮膚和眼睛刺激和吸入。