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| 力敏傳感器 |
力敏傳感器是將應力、壓力等力學量轉換成電信號的轉換器件。力敏傳感器有電阻式、電容式、電感式、壓電式和電流式等多種形式，它們各有優缺點。半導體壓力傳感器的主要技術性能：輸出3~20mV/V; 精度0.25%; 頻率0~ 5000Hz; 工作溫度-55~120攝氏度。這種傳感器的優點是體積小、成本低，缺點是對濕度十分敏感。壓電式力敏傳感器的優點是靈敏度高，工作溫度範圍寬(-70~250攝氏度)，缺點是成本稍高。近年來，壓電式力敏傳感器的應用領域和市場銷售額明顯擴大。
簡介
力敏傳感器是用來檢測氣體、固體、液體等物質間相互作用力的傳感器。常用材料有半導體、金屬及合成材料。常用的主要是硅壓阻式力敏傳感器和電容式力敏傳感器。硅壓力傳感器優點是，靈敏度好、精度高、缺點是受溫度影響大。
評價
中國科學院輕型動力創新研究院、中國科學院先進能源動力重點實驗室（工程熱物理研究所）等單位的研究人員李帆、羅海雲 等人，在2021年第15期《電工技術學報》上撰文，研究了一種基於直流輝光放電等離子體原理的氣體壓力測量方法，設計了一種等離子體壓力傳感器，並對該傳感器的放電維持電壓與氣壓之間的關係進行了穩態及動態標定實驗。穩態標定實驗結果表明，50μm 間隙適用於氣壓量程0.4~2.0atm(1atm=101325Pa)，220μm 適用於氣壓量程0.5~5.0atm，此時電流選取在3.0~5.0mA之間。動態標定實驗在激波管實驗台上進行，結果表明等離子體壓力傳感器和參考Endevco壓阻式傳感器的上升時間基本一致，均為1μs；且通過計算動態傳遞函數可得，該等離子體壓力傳感器及其電源、電子電路系統的固有頻率為146.6kHz，未來可以為航空發動機、衝壓發動機嚴苛高溫環境及超高速流動中的高頻壓力脈動信息的獲取提供支撐。[1]