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北京大學微電子學系在中國微電子產業的發展過程中有着輝煌的歷史。

北京大學微電子學系有着源遠流長的學術淵源，發展歷史可以追溯到1956年由著名物理學家黃昆院士領導在北大物理系創建的是我國第一個半導體專門化。

北京大學微電子系在中國微電子產業的發展過程中有着輝煌的歷史。在20世紀七十年代研製出我國第一塊三種類型包括硅柵N溝道1K MOS DRAM，是我國微電子科學技術史上的重要里程碑之一，獲全國科學大會獎，是中國最早的大規模集成電路的發源地之一。

師資隊伍

北京大學微電子學系廣納賢才，海納百川，一大批有志於發展我國微電子產業的優秀學者匯集於此，形成了以王陽元院士為首的老中青相結合的學術骨幹隊伍。近幾年來年輕學術骨幹迅速成長，有博導20名；教授、研究員、正高工26名；副教授、副研究員、高工27名；講師7名；工程師、實驗師等14名，教師隊伍中具有博士學位的年輕教師已經成為教師隊伍的主流，他們擔當教學科研的重任，成為微電子學系能夠持續發展的可靠保證。

王陽元院士

1958 年畢業於北京大學物理系，獲學士學位； 1958 年至今在北京大學工作，曾任北京大學微電子學研究院院長，微電子學系主任； 現任北京大學微電子學研究院首席科學家，1995年當選為中國科學院信息科學技術學部院士。現為北京大學信息科學技術學院教授（ 1985 年）。現有 20 項重大科技成果。獲全國科學大會獎、國家發明二、三等獎、國家教委科技進步一等獎、光華科技基金一等獎等共 19 項國家級和部委級獎勵。兼中國電子學會副理事長，《半導體學報》和《電子學報》（英文版）副主編，《微電子學科學叢書》主編。信息產業部科技委委員 (電子) ，美國 IEEE Fellow 和英國 IEE Fellow 等。

設施設備

北京大學微電子學系具有良好的人才培養與科學研究的先進設施。擁有三個國家或部門重點實驗室，實驗室水平達到國內領先，與國際先進水平同步。

微米/納米加工技術國家級重點實驗室

建設宗旨：進行微電子機械系統（MEMS）加工技術的研究；與其它單位開展MEMS技術合作和應用研究；為國內外重大MEMS技術研究項目提供微加工技術服務；開展MEMS技術的產業化研究工作。實驗室的目標是建設世界一流的MEMS加工技術研究環境，為國內外產業及研究機構服務。在以硅工藝為基礎的MEMS加工技術研究方面，實驗室首次在國內引進了英國STS公司生產的高深寬比硅刻蝕的ICP ASE、高密度等離子刻蝕系統高深寬比氧化硅刻蝕系統ICP AOE、高密度等離子金屬刻蝕系統ICP METAL ETCHING和低應力薄膜等離子增強化學汽相澱積系統STS PECVD，德國KARL SUSS公司生產的可雙面光刻、鍵合對準系統MA/BA6、靜電及熱鍵合系統SB6，還有ASM 公司的LB35低壓化學汽相澱積系統。這些世界一流的MEMS工藝研究設備使我國在硅MEMS技術研究方面有了與國際先進水平對話的「共同語言」。

重點實驗室與美國ADI公司、得爾福（Delphi）公司、康奈爾大學、新加坡材料研究所、中國工程物理研究院、清華大學、華北工學院等數十個單位建立了合作關係。

新工藝新器件新結構集成電路重點實驗室

研究方向：深亞微米CMOS集成電路技術研究，硅基超高速雙極集成電路技術研究，CMOS/SOI電路技術研究，新結構、新器件研究，小尺寸器件物理及其可靠性研究。實驗室具有深亞微米、4英寸CMOS、超高速雙極電路和CMOS/SOI電路研製能力，超高速電路、小尺寸器件和薄膜分析測試能力，具有年培養本科生40名、碩士生10-16名、博士生8-10名、博士後4-6名的能力。實驗室擁有對於微電子研究具有關鍵意義的濺射系統，分步投影光刻機、中束流離子注入機、快速熱處理設備、反應離子刻蝕機等設備。實驗室是由工藝研究技術單元、CAE技術單元、測試分析技術單元構成的。

軟硬件協同設計實驗室

軟硬件協同設計實驗室是在創建世界一流大學的過程中，由教育振興行動計劃大力支持建立起來的新型實驗室，其前身是北京市軟件固化高科技實驗室。軟硬件協同設計實驗室是系統集成芯片（SOC）研究方向的主要支撐環境，它為該研究方向科研任務的組織實施、人才培養、學科發展等提供了必不可少的軟硬件條件，它對電子信息學科開放，由微電子學系組織建設和管理。

人才培養

北京大學微電子學系在我國著名的微電子學家王陽元院士的領導下，為我國微電子產業培養了一大批優秀人才，已經成為我國培養高水平微電子人才的一個重要基地，是國家和學校大力支持和發展的重點學科。微電子學系設有完備的人才培養體系，本科生教育設有微電子學專業，碩士生教育設有微電子學與固體電子學專業、集成電路工程專業，博士生教育設有微電子學與固體電子學專業、電路與系統專業，還設有博士後流動站，每年招收大批優秀學子前來求學，施展才華，探求微電子學的新進展。

科研機制

北京大學微電子學系與北京大學微電子學研究院（所）在管理體制上實行一個實體兩塊牌子。下設三個研究所和兩個實驗室：ULSI新器件及集成技術研究所，系統芯片（SOC-System On Chip）研究所，微電子機械系統（MEMS-Micro -Electro- Mechanical System）研究所，IC CAE 實驗室，工藝實驗室。科學研究在基礎研究、關鍵技術、應用開發三個層面上展開，已經取得了一系列具有國際先進水平的科研成果。

合作交流

北京大學微電子學系開展廣泛的國際、國內合作與技術交流，通過國際學術交流與技術合作，聘請一批國際著名學者作為兼職教授或客座教授，保證教學科研工作能夠與世界先進水平同步。北京大學微電子學研究所在國際微電子界已享有一定的聲譽。

北京大學還與國內外產業界建立了密切聯繫與合作關係，與AD、Motorola、富士通、中芯國際微電子製造有限公司、北大青鳥集團公司等建立聯合實驗室和合作研究項目，及時將科技成果轉化為生產力。