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激光劃片機

激光劃片是利用高能激光束照利用高能激光束照射在工件表面,使被照射區域局部熔化、氣化、從而達到劃片的目的。

原理

激光劃片是利用高能激光束照利用高能激光束照射在工件表面,使被照射區域局部熔化、氣化、從而達到劃片的目的。因激光是經專用光學系統聚焦後成為一個非常小的光點,能量密度高,因其加工是非接觸式的,對工件本身無機械衝壓力,工件易變形。熱影響極小,劃精度高,廣泛應用於太陽能電池板、薄金屬片的切割和劃片。

應用領域

激光 劃片機主要用於金屬材料及硅、鍺、 砷化鎵和其他半導體襯底材料劃片和切割,可加工太陽能電池板硅片陶瓷片鋁箔片等,工件精細美觀,切邊光滑。採用連續 泵浦聲光調Q的Nd:YAG 激光器作為工作光源,由計算機控制二維工作檯,能按輸入的圖形做各種運動。輸出功率大,劃片精度高,速度快,可進行曲線及直線圖形切割。

激光劃片機一般分為這幾類:YAG激光劃片機、半導體激光劃片機、光纖激光劃片機……

YAG激光劃片機:價格便宜、功率大、但是體積也大,用電量大,發熱也大,激光器壽命相對較短;半導體激光劃片機:相對來說性價比高,體積小,功率中等;光纖激光劃片機:精準,體積小、振鏡可移動,但功率相對小,價格較高。

國內外發展狀況

華工 自主知識產權 晶圓

2008年LED紫外激光劃片機由華工激光研發成功。[1]

參考文獻

  1. 激光劃片機搜好貨網