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王曦（材料科學家、中科院院士）

簡介

王曦，1966年8月出生於上海，半導體材料學專家，中國科學院院士，中國科學院上海微系統與信息技術研究所研究員、博士生導師、所長，中國科學技術協會第九屆全國委員會副主席，中國科學院上海高等研究院院長。

1987年王曦從清華大學畢業後進入中國科學院上海冶金研究所學習，先後獲得碩士、博士學位；

1996年作為訪問學者前往德國羅森多夫研究中心；

1998年回國擔任離子束國家重點實驗室主任，同時擔任「高端硅基SOI材料」製備研究項目的負責人；

1999年獲得國家傑出青年科學基金資助；

2001年參與創建了上海新傲科技有限公司；

2007年出任上海新傲科技股份有限公司董事長，並擔任「極大規模集成電路製造技術及成套工藝」科技重大專項總體專家組副組長；

2009年當選中國科學院院士；

2010年當選為第11屆中華全國青年聯合會副主席；

2012年被聘為上海市決策諮詢委員會成員；

2016年當選中國科學技術協會第九屆全國委員會副主席；

2017年出任中國科學院上海高等研究院院長；

2018年出任亞洲科學理事會主席。

2019年4月任科學技術部副部長、黨組成員兼中國科學技術協會副主席。

王曦致力於載能粒子束與固體相互作用物理現象的研究，包括先進電子材料和功能薄層材料的研究與開發以及表面工程等。

王曦：科學家應把自己的研究與國家戰略需要聯繫起來

在中國，如果提到高端硅基SOI材料研發和產業化，業內人士都會提到一個名字——王曦。

王曦，中國科學院院士，我國著名半導體材料學專家，中科院上海微系統與信息技術研究所所長、我國高端集成電路襯底材料的主要開拓者和領軍人物。

1996年，博士畢業後的王曦前往歐洲最大的離子束材料研究基地德國羅森多夫研究中心做訪問學者。

1998年6月回國後不久，王曦得知一個震驚中國材料界的消息，IBM宣布將國際公認的21世紀微電子新材料SOI應用於處理器芯片生產，帶動一批著名半導體跨國公司進行這項技術的開發。

SOI，是Silicon-on-insulator的簡稱，中文譯為絕緣體上的硅。國際上公認，SOI在低壓、低功耗電路、耐高溫電路、微機械傳感器、光電集成等方面具有重要應用價值。

王曦意識到，提升我國SOI技術應用研究力度、實現產業化進程迫在眉睫。

33歲的王曦毅然擔起重任，帶領科研團隊，聚焦SOI材料製備中的關鍵技術「離子注入」，為了儘快趕上國際先進水平，夜以繼日地在實驗室里奮鬥。

奮鬥迎來了曙光。2000年，離子束原位摻雜技術獲得重要進展，相關論文引發國際同行高度關注。

2001年7月，為了將科研技術應用於高端集成電路襯底材料SOI開發，王曦推動中科院上海微系統所孵化成立了上海新傲科技股份有限公司。

他和SOI課題組的五位博士一同進入公司，科學家王曦轉型成為董事長和CEO。

經過不懈努力，研究團隊開發了超低劑量SOI工藝，在國際上獨創了具有自主知識產權的注氧鍵合Simbond-SOI技術。

王曦坦言，當自己和團隊經過無數個奮戰的晝夜，生產出一個個光潤無瑕、晶瑩剔透的「三明治」硅片的時候，大家的幸福感和激動之情溢於言表。

然而，經營管理企業，光擁有技術還遠遠不夠，融資、設備引進、技術突破、開拓市場……所有過程都比預想的要艱難。

王曦說，每一個環節遇到的波折都足以使人放棄，僅融資就談了100多家才宣告完成。

憑着堅忍不拔的信念，王曦和他的團隊協力奮戰，終於實現了SOI材料產業化，填補了國內空白。

中國創造的硅片，遠銷西方發達國家，成功實現中國微電子材料的跨越式發展。

眾望所歸，「高端硅基SOI材料研發和產業化」榮獲2006年國家科技進步獎一等獎。上海新傲科技股份有限公司也因成功完成我國8英寸SOI材料產業化，成為了我國唯一的SOI材料研發和生產基地。

2014年，上海新傲科技股份有限公司和全球最大的SOI生產商法國Soitec簽署了合作協議，鞏固了雙方的戰略夥伴關係，樹立了中國企業在國際上的地位。

王曦至今仍記得，當年創業初始，自己在法國曾在Soitec門口轉悠，只能和門衛聊聊天的情形；沒想到，時隔多年，自己能和這家行業巨頭在自己的祖國，平起平坐，握手合作。

「做科學家，尤其是應用學科的科學家，必須把自己的研究與國家的戰略需要聯繫起來，通盤去想，去布大局，做大事。」在接受《中國科學報》採訪時，王曦如是說。