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現任[[旺宏電子]]總經理與[[欣銓科技]]董事長。

1977年,取得博士學位後，他先任教於[[國立交通大學]]，並[[參贊]][[行政院]]科技顧問組等。

1989年,受邀回臺，出任工研院電子所副所長，帶領執行[[國家次微米計畫]]，讓臺灣具備[[八吋晶圓]]產製能力。次微米計畫後衍生成立[[世界先進公司]]，成為催化臺灣[[記憶體]]產業的重要推手。

1999年，盧志遠博士加入旺宏電子，專注非揮發性記憶體前瞻技術研發，帶領旺宏研發團隊持續在國際重要學術會議如[[IEDM]]、[[ISSCC]]、[[VLSI]]、[[IRPS]]等發表多項次世代記憶體先驅技術，研發實力屢獲全球高度肯定。旺宏電子目前於全球所擁有的高品質專利數已逾7,200項。而他所創辦的欣銓科技，證實晶圓級測試為可行的商業模式，更成為尖端半導體生產過程中不可或缺的一環，也獲得美國[[哈佛大學]]商學院(HBS)納為推廣教案。

盧志遠博士積極鑽研電子元件及材料科技，發表超過 480多篇學術及技術論文，更擁有160餘項國際專利，榮獲無數國內外獎項及榮耀肯定，包括美國[[電機電子學會]]IEEE千禧傑出獎章、[[潘文淵文教基金會]]研究傑出獎、行政院傑出科技人才獎，有世界科技研發工程師界奧斯卡獎之稱的IEEE Frederik Philips Award、國家最高榮譽科學研究獎項--總統科學獎，及世界科學院(TWAS)工程科學獎等，更獲得美國物理學會APS Fellow、IEEE Fellow、中華民國科技管理學會院士及科技管理獎、[[工研院]]院士、臺大傑出校友、交大名譽博士等榮銜。盧博士不但在百忙之中仍應允擔任物理系特聘講座教授，向學術界分享豐碩的產業經驗，更熱心支持母校及物理系所及產學研界各項活動，包括長期贊助中華民國物理學會年會等，皆是以實際行動支持科技教育推廣及人才培育計畫。

2017年,物理系特聘研究講座教授盧志遠博士榮獲學術發明家最高榮譽 -「2017年美國國家發明家學院 (NAI, National Academy of Inventors) 院士 ([[NAI Fellow]])」。盧博士獲此榮銜，彰顯NAI高度推崇與肯定其傑出發明，對於促進生活品質、經濟發展和社會福利展現高度且豐富多元的創新精神，並產生實質性影響力。