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其中半导体装备业务是以本次重大资产重组的标的公司—北京北方华创微电子装备有限公司（原“北方[[微电子]]”）的资产及业务为基础，进一步整合了公司原有高端半导体装备业务而产生的新业务板块，形成了包括Etch、PVD、LPCVD、APCVD、PECVD、氧化炉、扩散炉、清洗机、热处理装备、液晶面板制造装备、[[气体]]品质流量控制器等系列化半导体关键制造装备及核心零部件，应用领域以[[集成电路]]制造领域为核心、辐射先进封装、半导体照明、微机电系统、功率器件、化合物半导体、[[平板]]显示、新能源光伏等诸多应用领域。
2018年1月16日，北方华创科技集团股份有限公司下属北京北方华创微电子装备有限公司完成了对[[美国]]Akrion Systems LLC公司资产及相关业务的收购，本次收购将有助于拓展公司在集成电路清洗机装备领域的产销体系。公司备案文件称，北方华创美国全资子公司Naura Akrion Inc设立完毕，1,500万美元投资资金到位。 同年4月完成在美国[[加利福尼亚州]]设立NAURA Research Inc.（北方华创美国硅谷研究院），开展先进半导体设备[[技术]]研发。
目前[[电子]]工艺装备成为北方华创的营收主力，2018年营收25.21亿元，同比增长了75.7%，占比达到了75%以上。在技术水准上，在集成电路领域已形成28奈米设备供货能力，14[[纳米|奈米]]工艺设备进入客户[[工艺]]验证阶段，12吋刻蚀机、PVD、ALD、单片退火系统以及LPCVD设备进入集成电路主流代工厂。