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Si Epitaxy 矽磊晶  嘉晶提供100~200mm的磊晶矽晶圓產品。 由基板到磊晶層的規格可依據客戶的元件特性進行設計與生產，依據不同的特性與需求，選擇設計適合的生產方式與製程條件。 依據磊晶設備的種類，大致可區分Batch Type與Single Type兩種。