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透射电子显微镜
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'''透射电子显微镜'''(英语:Transmission electron microscope,缩写:TEM、CTEM),简称透射电镜,是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,[[电子]]与样品中的[[原子]]碰撞而改变方向,从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关,因此可以形成明暗不同的影像,影像将在放大、聚焦后在成像器件(如[[荧光屏]]、[[胶片]]、以及感光耦合组件)上显示出来。
由于电子的德布罗意波长非常短,透射电子显微镜的分辨率比[[光学显微镜]]高的很多,可以达到0.1~0.2 nm,放大倍数为几万~百万倍 <ref>[https://www.docin.com/p-1353312169.html 透射电镜的应用 ],豆丁网</ref> 。因此,使用透射电子显微镜可以用于观察样品的精细结构,甚至可以用于观察仅仅一列原子的结构,比光学显微镜所能够观察到的最小的结构小数千倍。TEM在[[物理学]]和生物学等相关的许多科学领域中都是重要的分析方法,如癌症研究、[[病毒学]]、[[材料科学]]、以及[[纳米技术]]、半导体研究等等。
在放大倍数较低的时候,TEM成像的对比度主要是由于[[材料]]不同的厚度和成分造成对电子的吸收不同而造成的。而当放大率倍数较高的时候,复杂的波动作用会造成成像的亮度的不同,因此需要专业知识来对所得到的像进行分析。通过使用TEM不同的模式,可以通过[[物质]]的化学特性、晶体方向、电子结构、样品造成的电子相移以及通常的对电子吸收对样品成像。
1858年,尤利乌斯·普吕克认识到可以通过使用磁场来使阴极射线弯曲。这个效应早在1897年就由曾经被费迪南德·布劳恩用来制造一种被称为阴极射线示波器的测量设备,而实际上早在1891年,里克就认识到使用[[磁场]]可以使阴极射线聚焦。后来,汉斯·布斯在1926年发表了他的工作,证明了制镜者方程在适当的条件下可以用于电子射线。
1928年,[[柏林科技大学]]的高电压技术教授阿道夫·马蒂亚斯让马克斯·克诺尔来领导一个研究小组来改进阴极射线示波器。这个研究小组由几个博士生组成,这些博士生包括恩斯特·鲁斯卡和博多·冯·博里斯。这组研究人员考虑了透镜[[设计]]和示波器的列排列,试图通过这种方式来找到更好的示波器设计方案,同时研制可以用于产生低放大倍数(接近1:1)的电子光学原件。1931年,这个研究组成功的产生了在阳极光圈上放置的网格的电子放大图像。这个设备使用了两个磁透镜来达到更高的放大倍数,因此被称为第一台[[电子显微镜]] <ref>[http://www.kedo.gov.cn/c/2018-11-09/950444.shtml 电子显微镜的发展历程],蝌蚪五线谱,2018-11-09</ref> 。在同一年,[[西门子]]公司的研究室主任莱因霍尔德·卢登堡提出了电子显微镜的静电透镜的[[专利]]。
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