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''' 扫描隧道显微镜 ''' （英语：Scanning Tunneling Microscope，缩写为STM），是一种利用 [[ 量子 ]] 隧穿效应探测 [[ 物质 ]] 表面结构的 [[ 仪器 ]] 。它于1981年由格尔德·宾宁及海因里希·罗雷尔在IBM位于 [[ 瑞士 ]] 苏黎世的苏黎世实验室发明<ref>[https://www.sohu.com/a/139589683_346845 6大常用显微技术与设备！3分钟读懂！ ]，搜狐，2017-05-10</ref>，两位发明者因此与 [[ 电子显微镜 ]] 的发明者恩斯特·鲁斯卡分享了1986年 [[ 诺贝尔物理学奖 ]] 。

扫描隧道显微镜技术是扫描探针显微术的一种，基于对探针和表面之间的隧穿电流大小的探测，可以观察表面上单原子级别的起伏。此外，扫描隧道显微镜在低温下可以利用探针尖端精确操纵单个 [[ 分子 ]] 或 [[ 原子 ]] ，因此它不仅是重要的微纳尺度测量工具，又是颇具潜力的微纳加工工具。

扫描隧道显微镜是一种利用量子隧穿效应的非 [[ 光学显微镜 ]] 。

扫描隧道显微镜的测量干扰主要来源于 [[ 机械 ]] 震动和电噪音<ref>[https://www.docin.com/p-106582750.html 扫描隧道显微镜原理、结构及其应用]，豆丁网</ref>，因此需要在有较高防震水平的防震台上工作。

其 [[ 电子 ]] 控制部分的实现难点在于如何将微纳量级的隧穿电流转化为可以处理的信号，因此用到了前级放大器。

在恒流模式下，压电陶瓷管受反馈电路控制，保持针尖和样品之间的隧穿 [[ 电流 ]] 保持恒定的设定电流值。为了保持隧穿电流恒定，压电陶瓷管需要根据表面起伏在z方向上下运动，该运动轨迹反映了表面的起伏情况。以z的值在xy空间上做二维图，就得到了表面的高度起伏像。

学习一项 [[ 仪器 ]] 技术的最好方法莫过于自己搭建一台这样的仪器。有一些STM技术爱好者[1][2] 在网上发表了扫描隧道显微镜的DIY教程，为这一技术的推广起到了积极作用。

扫描隧道显微镜目前的主要应用领域为基础 [[ 科学 ]] 研究，包括模型催化研究、超导、单分子(原子)磁体、 [[ 纳米 ]] 器件学等。

在 [[ 工业 ]] 领域的主要应用为 [[ 半导体 ]] 表面形貌测量，例如线宽测量。