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'''中国科学院上海微系统与信息技术研究所'''（ [[ 英语 ：Shanghai ]]：'''Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences ''' ），简称上海微系统所，是[[中华人民共和国]]一家主要关注[[半导体]]材料和器件、集成电路、超导等领域的专业研究机构，是[[中国科学院]]直属正局级单位，其前身为1928年正式创立于上海的国立中央研究院工程研究所。中国科学院“率先行动”计划<ref>[http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2014/8/301645.shtm 光明日报：中科院启动“率先行动”计划]，科学网，2014-8-20 </ref>将上海微系统与信息技术研究所定位为卓越创新中心。

[[ 上海 ]] 微系统与信息技术研究所现有[[中国科学院院士]]2人、[[美国国家科学院院士]]1人，正高级科技人员105人。

1927年11月20日，[[蔡元培]]主持召开中央研究院筹备会议，会议通过了《中华民国大学院中央研究院组织条例》并决定优先筹备设立理化实业研究所等四个研究机构。理化实业研究所分为[[物理]]组、[[化学]]组和工程组，主要关注基础科学研究，但也包括实用的[[工程学]]。1928年6月9日，中央研究院第一次院务会议在上海召开，蔡元培宣布中央研究院正式成立<ref>[http://www.huaxia.com/qqla/csdh/nj/2008/03/917717.html 蔡元培与中央研究院]，华夏经纬网，2008-03-06 </ref>。院务会议之后不到一个月，理化实业研究所筹备工作即宣告完成。事实上，理化实业研究所正式成立之时就分为物理、化学和工程三个研究所，由[[周仁]]出任工程研究所所长。起初三个研究所合设于 [[ 上海市 ]] 霞飞路899号办公，后又一同搬至白利南路理工实验馆。[[抗日战争]]期间，工程研究所迁往昆明。1945年更名为国立中央研究院工学研究所。1946年，工学研究所返回上海理工实验馆开展工作，[[钢铁]]研究部分留在[[昆明]]成为工作站。

[[中国共产党]]取得政权后， [[ 中国科学院 ]] 开始接收中央研究院[[工学]]研究所。1950年，中央研究院工学研究所改组为中国科学院工学实验馆，是中国科学院最初的15个研究所之一。1953年，改名中国科学院冶金陶瓷研究所。1955年开始筹建长沙分所，后独立为中国科学院矿冶研究所。1959年陶瓷部分调出成为中国科学院硅酸盐化学与工学研究所，研究所更名为中国科学院冶金研究所，昆明工作站独立为中国科学院昆明冶金陶瓷研究所。