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行 业 机械制造业 类 别 水环 中文名；真空 泵 、往复泵、滑阀泵等

目录外文名；Vacuum pump

1 发展历史 2 结构特点 3 行业； 机械 选择 4 分类 5 性能参数制造业

6 术语解释 7 应用情况 8 测量方式 9 选型 10 维护保养类别；真空泵

▪ 润滑油材质；铸铝 铸铁 铸钢|} ▪ 电 '''真空泵'''是指利用 机 温度高械、物理、[[化学]]或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中[[改善]]、产生和维持真空的装置。 ▪ 按真空泵的工作原理，真空 泵 轴轴承位磨损基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和[[气体]]传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。<ref>[https://www.360kuai.com/pc/9a7308195bde8206e?cota=3&kuai_so=1&sign=360_57c3bbd1&refer_scene=so_1 真空泵行业发展前景如何?下游扩产带动行业空间提升] ， 快资讯， 2022年8月18日 </ref> ▪ 腐蚀 ▪ ==发展历史==  壳体裂纹破裂随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空[[技术]]在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合[[起来]]，以机组型式应用。 ▪ 冒烟 常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵 和 喷油扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来， 伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等[[因素]]的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。==结构特点==

卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接 [[ 方便 ]] ，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。

真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的 [[ 间隙 ]] 不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的最大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。

(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用 [[ 润滑 ]] ，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；

== 机械选择==编辑播报

⑶真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部 [[ 气体 ]] 量。

⑹正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强 [[ 范围 ]] ，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。

⑻真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空 [[ 干燥 ]] 工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，最好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。

⑷在连接管路中，用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查真空泵的 [[ 极限 ]] 压力。

⑻如真空泵口安装电磁阀时，阀与真空泵应同时 [[ 动作 ]] 。

== 分类==编辑播报

牵引 [[ 分子泵]]

自净化 [[ 扩散泵]]

离子输运泵 [[ 气体捕集泵]]

溅射离子泵 [[ 低温泵 ]]

[[ 旋片式真空泵 ]]

[[ 气体传输泵]]气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种 [[ 类型 ]] ： == 变容真空泵==利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被 [[ 压缩 ]] 。这种泵分为往复式及旋片式两种：

b.滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和 [[ 滚动 ]] ，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而泵腔分成两个可变容积。

d.余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁 [[ 转动 ]] 并将泵腔分成两个可变容积。

动量传输泵：这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体 [[ 分子 ]] ，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。（1） 分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之 [[ 压缩 ]] 、排气的一种真空泵。它有如下几种型式：

（3） 扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子 [[ 扩散 ]] 到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：

（5） 离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的 [[ 作用 ]] 下，输送到出口的一种动量传输泵。 == 气体捕集泵==

吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的 [[ 物理 ]] 吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵

== 粗真空系==

主要用于粗真空。抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀，不溶于水，含有少量固体颗粒的 [[ 气体 ]] ，以便在密闭容器中形成真空。所吸气体中允许混有少量液体。它被广泛应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。

== 高真空系== === 滑阀式真空泵===

滑阀真空泵可单独使用，也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵的 [[ 使用 ]] 。当抽吸对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽、大量粉尘的气体时，需附加装置。优点：相比旋片式真空泵耐用性要高好几倍且抽气速率大，价格相对高一点。用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、 [[ 机械 ]] 、电子、化工、石油、医药等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。 === 旋片式真空泵===

具有结构紧凑，体积小，重量轻，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和 [[ 实验室 ]] 使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。 === 罗茨真空泵===

是一种旋转式变容真空泵，须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内，有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。广泛用于冶金、化工、 [[ 食品 ]] 、电子镀膜等行业。主要用于真空机组的主泵，需要用前级泵辅助。如：水环式真空泵，滑阀真空泵，立式无油真空泵，分子真空泵等。国内最大罗茨真空泵保持纪录为20000L/S。 == 相关视频 ==<center>{{#iDisplay:r0760ncqpma&share|480|270|qq}}<center>小哥制作真空泵,带你了解真空泵的原理和工作流程,原来如此简单 </center></center>== 参考资料 == [[Category: 970 技藝總論]]