微细加工光学技术国家重点实验室

微细加工光学技术国家重点实验室依托单位为中国科学院光电技术研究所。实验室于1991年由国家计委批准建设成立。1993年12月，经国家计委各国科学院批准对外开放，并1996年通过国家验收。

简要概况

微细加工光学技术国家重点实验室依托单位为中国家科学院光电技术研究所^[1]。实验室于1991年由国家计委批准建设成立。1993年12月，经国家计委各国科学院批准对外开放，并1996年通过国家验收。实验室主任为罗先刚研究员，本届学术委员会主任为周炳琨院士。

研究领域

实验室以推动微细加工光学技术中关键科学和技术问题的实质性进步为目标，以基础研究服务于国家重大战略需求为宗旨，瞄准微纳光学国际前沿，围绕电磁波与微纳结构相互作用，深入研究微纳结构中电磁波的新现象及机理、微细结构的产生方法，形成新概念材料、微纳光电子器件及系统等方面的基础和应用基础创新研究、人才培养和科普教育基地。

实验室主要开展微纳光学及亚波长光学、微光学与微系统、微纳加工技术及装备、高分辨成像及光谱技术四个方向的研究。研究内容包括：亚波长人工结构材料、超衍射光学、视光学波前工程、微纳光学、微细加工技术及装备、MEMS技术^[2]、193nm光刻、轻量化高分辨成像等。

交流合作

微细加工光学技术国家重点实验室与本领域国内外数十余家科研院所、大专院校有良好的合作关系。与英国曼切斯特大学、美国伯克利大学、新加坡国立大学、英国卢瑟福国家重点实验室、瑞士苏黎世CSEM实验室和美国SUPERARRAY公司以及四川大学、中国科学院微电子中心、上海技物所等单位在微光学、微电子光学及其应用开展了卓有成效的合作交流。

视频